(99,8% braț de încărcare aluminei de alumină produs deWintrustek)
Un braț de încărcare ceramică de 99,8%din alumină este o componentă utilizată în procesele de fabricație a semiconductorilor. Ceramica de alumină este un tip de material ceramic cu izolare electrică excelentă și proprietăți de conductivitate termică ridicată, ceea ce îl face potrivit pentru diverse aplicații cu semiconductor.
Brațul ceramic este utilizat în mod obișnuit în echipamente de producție cu semiconductori, cum ar fi roboții de manipulare a wafer-ului și mașinile de pick-and-loc. Deține și manipulează napolitane cu semiconductor în timpul procesului de producție.
Un mediu curat și fără praf este necesar pentru procesele cruciale ale dispozitivelor semiconductoare, precum și pentru părțile care trebuie folosite în vid, temperaturi ridicate și medii corozive de gaze.
Încărcătoarele de wafer realizate din 99,8% alumină sunt montate pe „efectori de capăt” sau roboți de predare a waferului și sunt folosiți pentru a muta napolitane de siliciu în și în afara camerelor și casetelor de proces. 95% până la 99,9% oxid de aluminiu este utilizat ca material de producție primar pentru ceea ce este denumit și ceramică semiconductoare. Metoda de transfer de placă necesită utilizarea brațelor mecanice ceramice de alumină de înaltă puritate, pentru care sunt esențiale prelucrarea precisă și cerințele materiale.
PAFER -ul din dispozitivul CMP este așezat cu atenție pe platforma de sub capul de lustruire după ce a fost scoasă din cutia de wafer de peretele robotului. De obicei, capul de lustruire servește ca dispozitiv de adsorbție în vid. Placherul este ferm adsorbit pe capul de lustruire prin adsorbția în vid, ceea ce face ca capul de lustruit să alunece în jos atunci când placa este așezată sub ea. Odată fixat că placa, capul de lustruire îl aduce pe placa de lustruire pentru a începe procesul de lustruire.
Manipularea plafonului are loc adesea într-un mediu de vid pentru a preveni contaminarea, iar brațul de manipulare trebuie să fie extrem de dur, rezistent la uzură și rezistent la temperatură. Calitățile fizice ale ceramicii de alumină sunt că este groasă, foarte grea și foarte rezistentă la uzură. Un material excelent pentru echipamentele semiconductoare brațe mecanice este unul care are o rezistență la căldură bună, o rezistență mecanică excelentă, o izolare puternică, o bună rezistență la coroziune și alte calități fizice chiar și în medii la temperaturi ridicate.
Principalele caracteristici ale brațului de alumină de 99,8%
Alumina este o ceramică tehnică foarte puternică, care are o rezistență excepțională de uzură.
O relație de montare fără cusur este ușor de realizat cu dimensiuni de înaltă precizie și toleranță la strângere.
Capabil să tolereze temperaturile de până la 1650 ° C în reducerea și oxidarea mediilor
Alumina este o ceramică tehnică foarte puternică, care are o rezistență excepțională de uzură.
Rezistența la coroziunea chimică la temperaturi ridicate, inertism chimic, rezistență la majoritatea acizilor și alcalinelor puternice și nu a ruginii
Izolație electrică: Defalcarea izolației este de cel puțin 18 kV.
Vacuumele ridicate sau medii de protecție la temperaturi ridicate sunt utilizate pentru a scăpa de contaminanți și impurități.
Comparativ cu alte ceramice, are un cost material scăzut pentru aplicații la nivel înalt.
În concluzie, producătorii de semiconductori pot reduce la minimum riscul de deteriorare sau contaminare în timpul fabricării prin utilizarea de brațe ceramice de alumină pentru a oferi o manipulare precisă și de încredere a napolitanelor cu semiconductor fragil.
