(99,8% de alumina wafer braço de carregador produzido porWintustek)
Um braço do carregador de cerâmica de alumina de 99,8%é um componente usado nos processos de fabricação de semicondutores. A alumina cerâmica é um tipo de material cerâmico com excelente isolamento elétrico e propriedades de alta condutividade térmica, tornando -o adequado para várias aplicações de semicondutores.
O braço de cerâmica é comumente empregado em equipamentos de produção de semicondutores, como robôs de manuseio de bolacha e máquinas de pick-and-place. Ele mantém e manipula as bolachas semicondutores durante o processo de produção.
Um ambiente limpo e livre de poeira é necessário para os processos cruciais dos dispositivos semicondutores, bem como as peças que devem ser empregadas em ambientes a vácuo, altas temperaturas e gás corrosivo.
Os carregadores de wafer feitos de 99,8% de alumina são montados em "efetores finais" ou robôs de entrega de wafer e são usados para mover as bolachas de silício para dentro e para fora das câmaras e cassetes de processo. 95% a 99,9% de óxido de alumínio é usado como material de produção primário para o que também é chamado de cerâmica semicondutores. O método de transferência de wafer requer o uso de braços mecânicos de cerâmica de alumina de alta pureza, para os quais os requisitos precisos de processamento e material são fundamentais.
A bolacha no dispositivo CMP é cuidadosamente colocada na plataforma sob a cabeça de polimento após ser removida da caixa de wafer pela parede do robô. Geralmente, a cabeça de polimento serve como um dispositivo de adsorção de vácuo. A bolacha é firmemente adsorvida na cabeça de polimento através da adsorção de vácuo, o que faz com que a cabeça de polimento deslize para baixo quando a bolacha é colocada embaixo dela. Depois que a bolacha é presa, a cabeça de polimento a leva à almofada de polimento para iniciar o processo de polimento.
O manuseio de bolacha geralmente ocorre em um ambiente de vácuo para evitar a contaminação, e o braço de manuseio deve ser extremamente duro, resistente ao desgaste e resistente à temperatura. As qualidades físicas da cerâmica de alumina são que é espessa, altamente difícil e altamente resistente ao desgaste. Um excelente material para os braços mecânicos do equipamento semicondutor é aquele que possui boa resistência ao calor, excelente resistência mecânica, forte isolamento, boa resistência à corrosão e outras qualidades físicas, mesmo em ambientes de alta temperatura.
As principais características de 99,8%de alumina braço
A alumina é uma cerâmica técnica muito forte que tem uma resistência excepcional ao desgaste.
É fácil alcançar um relacionamento de ajuste impecável com dimensões de alta precisão e tolerância ao aperto.
Capaz de tolerar temperaturas tão altas quanto 1650 ° C em ambientes de redução e oxidação
A alumina é uma cerâmica técnica muito forte que tem uma resistência excepcional ao desgaste.
Resistência à corrosão química em altas temperaturas, inércia química, resistência à maioria dos ácidos fortes e alcalinos, e não à ferrugem
Isolamento elétrico: a quebra do isolamento é de pelo menos 18 kV.
Avalos altos ou ambientes de proteção a altas temperaturas são usadas para se livrar de contaminantes e impurezas.
Comparado a outras cerâmicas, ele tem um baixo custo material para aplicações de alto nível.
Para concluir, os produtores de semicondutores podem minimizar o risco de danos ou contaminação durante a fabricação usando braços de cerâmica de alumina para fornecer manuseio preciso e confiável de bolachas frágeis de semicondutores.
