WINTRUSTEK-ийн үйлдвэрлэсэн борын нитрид (BN) керамик
Бор Нитрид (BN) керамик нь хамгийн үр дүнтэй техникийн зэрэглэлийн керамик эдлэлүүдийн нэг юм. Эдгээр нь өндөр дулаан дамжуулалт, өндөр диэлектрик хүч чадал, химийн онцгой идэвхгүй байдал зэрэг температурт тэсвэртэй шинж чанаруудыг хослуулан дэлхийн хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй хэрэглээний зарим хэсэгт асуудлыг шийдвэрлэхэд тусалдаг.
Бор нитридын керамик эдлэлийг өндөр температурт дарж үйлдвэрлэдэг. Энэ арга нь 2000 ° C хүртэл өндөр температур, дунд болон их хэмжээний даралтыг ашиглан түүхий BN нунтагыг бэлдэц гэж нэрлэгддэг том, авсаархан блок болгон задлахад хүргэдэг. Эдгээр бор нитридийн бэлдэцийг хялбархан боловсруулж, гөлгөр, нарийн төвөгтэй геометрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд хийж болно. Ногоон шатаах, нунтаглах, шиллэгээ хийх зэрэг бэрхшээлгүйгээр хялбархан боловсруулах чадвар нь төрөл бүрийн дэвшилтэт инженерийн програмуудад загварчлал, дизайны өөрчлөлт, мэргэшлийн мөчлөгийг хурдан хийх боломжийг олгодог.
Плазмын камерын инженерчлэл бол бор нитридын керамик эдлэлийн нэг хэрэглээ юм. BN нь шүршихэд тэсвэртэй, хүчтэй цахилгаан соронзон оронтой байсан ч хоёрдогч ион үүсгэх чадвар багатай нь плазмын орчин дахь бусад дэвшилтэт керамик эдлэлээс ялгардаг. Цус цацахад тэсвэртэй байх нь эд ангиудын бат бөх чанарыг хадгалахад хувь нэмэр оруулдаг бол хоёрдогч ион үүсэх бага нь плазмын орчны бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахад тусалдаг. Энэ нь сийвэнгээр сайжруулсан физик уурын хуримтлал (PVD) зэрэг янз бүрийн нимгэн хальсан бүрэх процессуудад дэвшилтэт тусгаарлагч болгон ашиглаж ирсэн.
Физик уурын хуримтлал гэдэг нь вакуум орчинд хийгддэг, янз бүрийн материалын гадаргууг өөрчлөхөд ашигладаг нимгэн хальсан бүрхүүлийн өргөн хүрээний техникүүдийн нэр томъёо юм. Хүмүүс оптоэлектроник төхөөрөмж, автомашины болон сансарын нарийн эд анги болон бусад зүйлийг хийхдээ субстратын гадаргуу дээр зорилтот материалыг хийж, тавихын тулд шүрших, PVD бүрэхийг ихэвчлэн ашигладаг. Цус цацах нь плазмыг зорилтот материалд байнга цохиж, тоосонцорыг гадагшлуулахад ашигладаг өвөрмөц процесс юм. Бор нитридын керамик нь шүрших камерын плазмын нумыг зорилтот материал дээр хязгаарлаж, камерын салшгүй хэсгүүдийн элэгдэлд орохоос сэргийлдэг.
Бор нитридын керамикуудыг мөн хиймэл дагуулын Hall-effect түлхэгчийг илүү сайн ажиллуулж, удаан эдэлгээтэй болгоход ашигласан.
Холл эффектийн түлхэгч нь хиймэл дагуулыг тойрог замд хөдөлгөж, плазмын тусламжтайгаар сансрын гүнд датчик хийдэг. Өндөр хүчин чадалтай керамик суваг нь хүчтэй радиаль соронзон орон дундуур хөдөлж буй түлшийг ионжуулахад энэ плазмыг хийдэг. Плазмыг хурдасгах, гадагшлуулах сувгаар шилжүүлэхийн тулд цахилгаан талбарыг ашигладаг. Плазма сувгийг хэдэн арван мянган миль/цаг хурдтайгаар орхиж чаддаг. Плазмын элэгдэл нь керамик урсах сувгийг хэт хурдан задлах хандлагатай байдаг нь энэхүү дэвшилтэт технологийн хувьд асуудал юм. Бор нитридын керамикуудыг иончлолын үр ашиг, хөдөлгөх чадварыг алдагдуулахгүйгээр холл-эффект плазмын түлхэгчүүдийн ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд амжилттай ашигласан.
