(99,8% натоварувач на нафора на алуминиум произведена одWintrustek)
Раката за керамички натоварувач на алумина од 99,8%е компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници. Алумина керамика е еден вид керамички материјал со одлична електрична изолација и високи својства на топлинска спроводливост, што го прави погоден за разни апликации за полупроводници.
Керамичката рака најчесто се користи во опрема за производство на полупроводници, како што се роботи за ракување со нафта и машини за пик-и-место. За време на производниот процес ги држи и манипулира со полупроводнички нафори.
Потребно е чиста и без прашина за круцијалните процеси на полупроводници, како и за деловите што мора да се користат во вакуум, високи температури и корозивни околини за гас.
Натоварувачите на нафора направени од 99,8% алумина се монтираат на „крајни ефекти“ или роботи за предавање на нафта и се користат за пренесување на силиконски нафори во и надвор од процесните комори и касети. 95% до 99,9% алуминиум оксид се користи како примарен материјал за производство за она што исто така се нарекува полупроводничка керамика. Методот за пренесување на нафора бара употреба на алуминиумски керамички механички раце, за кои прецизни обработка и материјални барања се најголеми.
Нафора во уредот CMP е внимателно поставен на платформата под главата за полирање, откако ќе се отстрани од кутијата за нафта од wallидот на роботот. Обично, главата за полирање служи како уред за адсорпција на вакуум. Нафора е цврсто adsorbed на главата за полирање преку вакуумска адсорпција, што предизвикува главата за полирање да се лизне надолу кога нафтата е поставена под неа. Откако нафтата е прицврстена, главата за полирање ја носи во подлогата за полирање за да започне со процесот на полирање.
Ракувањето со нафта често се одвива во вакуумско опкружување за да се спречи загадување, а раката за ракување мора да биде исклучително тврда, отпорна на абење и отпорна на температура. Физичките квалитети на алуминиумската керамика се дека тој е густ, многу тврд и многу отпорен на абење. Одличен материјал за механички раце на опрема за полупроводници е оној што има добра отпорност на топлина, одлична механичка сила, силна изолација, добра отпорност на корозија и други физички квалитети дури и во средини со висока температура.
Главните карактеристики на 99,8%алумина рака
Алумина е многу силна техничка керамика која има исклучителен отпор на абење.
Беспрекорна врска е лесна за постигнување со димензии со голема прецизност и затегнување на толеранцијата.
Способни да толерираат температури дури 1650 ° C во намалувањето и оксидирачките околини
Алумина е многу силна техничка керамика која има исклучителен отпор на абење.
Отпорност на хемиска корозија на високи температури, хемиска инертност, отпорност на поголемиот дел од силните киселини и алкалии, а не 'рѓа
Електрична изолација: Дефектот на изолацијата е најмалку 18 kV.
Високи вакууми или заштитни средини на високи температури се користат за да се ослободат од загадувачи и нечистотии.
Во споредба со другите керамика, има ниска цена на материјалот за апликации на високо ниво.
Да се заклучи, производителите на полупроводници можат да го минимизираат ризикот од оштетување или загадување за време на производството со употреба на алуминиумски керамички раце за да обезбедат прецизно и зависно ракување со кревки нафора на полупроводници.
