Mo te takai hiko, he mahi nui nga taputapu uku ki te hono i nga hongere tohanga wera o roto, o waho hoki, me te hononga hiko me te tautoko miihini. Ko nga taputapu uku he painga o te kawe waiariki teitei, te parenga wera pai, te kaha miihini teitei, me te iti o te whakarea o te roha waiariki, a ko enei nga taputapu taputapu noa mo te kohinga taputapu semiconductor hiko.
Mo te hanganga me te mahi hangahanga, ka whakarōpūhia nga taputapu uku ki nga momo 5.
Ko nga papaa-hangai-a-papa-nui-a-tinana i te pāmahana (HTCC)
Te Pahana-Hakariki-Tuku-tahi Rapa uku (LTCC)
Raupapa Kiriata Kiriata Matotoru (TFC)
Raupapa Waahanga Waahanga Tika (DBC)
Raupapa Parauri Whakakikoruatia Tika (DPC)
Nga Tukatuka Whakaputa rereke
Ka hangaia te taputapu uku tika (DBC) ma te taapiri i te hāora i waenga i te parahi me te uku kia whiwhi ai i te otinga eutectic Cu-O i waenga i te 1065 ~ 1083 ℃, ka whai i te tauhohenga kia whiwhi i te wahanga takawaenga (CuAlO2, CuAl2O4 ranei), na reira ka mohio te whakakotahitanga matū matū. o te pereti Cu me te tïpako uku, ka mutu ka mohio ki te whakarite whakairoiro ma te hangarau lithography hei hanga i te ara iahiko.
Ko te whakarea whakareatanga waiariki o te tïpako DBC he tino tata ki tera o nga rauemi epitaxial LED, ka taea te whakaiti i te ahotea waiariki ka puta i waenga i te maramara me te taputapu.
Ka mahia te taputapu uku (DPC) ma te pupuhi i tetahi paparanga parahi ki runga i te taputapu uku, katahi ka hurahia, ka taraihia, ka whakakorehia te kiriata, ka mutu te whakanui ake i te matotoru o te raina parahi ma te whakakikorua hiko, te whakakikorua matū ranei, i muri i te tangohanga o te photoresist, te kua oti te raina whakarewa.
Nga Painga rereke me nga Painga
Nga painga o te DBC Ceramic Substrate
Mai i te mea he pai te hiko me te wera o te pepa parahi, ko te DBC nga painga o te pai o te waiariki, te pai o te whakamarumaru, te tino pono, a kua whakamahia nuitia i roto i nga kohinga IGBT, LD, me CPV. Ina koa na te pepa parahi matotoru (100 ~ 600μm), he tino painga ki te mara o te IGBT me te kohinga LD.
Nga ngoikoretanga o te DBC Ceramic Substrate
Ko te tukanga whakaputa e whakamahi ana i te tauhohenga eutectic i waenga i te Cu me te Al2O3 i nga wera nui, e hiahia ana ki te taumata tiketike o nga taputapu whakaputa me te whakahaere i te tukanga, na reira ka nui te utu.
Na te ngawari o te whakatipuranga o te microporosity i waenga i te paparanga Al2O3 me te Cu, e whakaiti ana i te awangawanga waiariki o te hua, ko enei ngoikoretanga ka waiho hei pounamu mo te whakatairanga substrate DBC.
Nga Painga o te DPC Ceramic substrate
Ka whakamahia te tukanga iti-pamahana (i raro iho i te 300 ° C), e tino karo ana i nga paanga kino o te teitei o te wera i runga i te papanga, i te hanganga raina ranei, me te whakaiti hoki i te utu o te mahi hangahanga.
Ko te whakamahinga o te kiriata angiangi me te hangarau photolithography, kia pai ake ai te taputapu i runga i te raina whakarewa, na reira he pai te taputapu DPC mo te whakatikatika i nga whakaritenga tino tika mo te kapi o nga taputapu hiko.
Nga ngoikoretanga o te DPC Ceramic Substrate
He iti te matotoru o te paparanga parahi kua oti te whakakikoruatia me te poke nui o te otinga para hiko.
He iti te kaha o te hono i waenga i te paparanga whakarewa me te uku, a he iti te pono o te hua ka whakamahia.
