He pūhui kore-whakarewa i titoa mai i te silicon me te hauota, silicon nitride (Si3N4) he rawa uku teitei me te ranunga tino pai o te miihini, te wera me te hiko. I tua atu, ka whakatauritea ki te nuinga atu o nga uku, he karaika mahi teitei me te iti o te whakarea roha waiariki e tino pai ana te whakaruruhau.
Na te iti o te whakarea whakareatanga whakareatanga waiariki, he tino nui te awangawanga o te waiariki me te pakari o te pakaru. Ko nga mea mahi Si3N4 he atete ki nga paanga me nga ru. Ka taea e enei taputapu mahi te aro ki te wera o te mahi ki te 1400 °C, he atete ki nga matū, nga paanga kino, me nga konganuku rewa motuhake penei i te konumohe, me nga waikawa me nga otinga kawakore. Ko tetahi atu ahuatanga ko tona kiato iti. He iti te kiato o te 3.2 ki te 3.3 g/cm3, he rite te mama ki te konumohe (2.7 g/cm3), a he ≥900 MPa tona kaha piko.
I tua atu, ko te Si3N4 e tohuhia ana e te kaha o te atete ki te kakahu me te nui atu i nga ahuatanga teitei o te nuinga o nga konganuku, penei i te kaha o te wera nui me te aukati ngoki. He pai ake te whakakotahitanga o te ngokingoki me te aukati waikura me te pai ake i te kaha o te pāmahana teitei o te nuinga o nga konganuku. He mihi ki te iti o te wera me te kaha o te kakahu, ka taea e ia te tu atu ki nga ahuatanga tino uaua i roto i nga tono ahumahi tino nui. I tua atu, he tino pai te silicon nitride i te wa e hiahiatia ana te kaha-nui me te kaha ki te utaina.
● Te pakari o te whati
● He pai te kaha flexible
● Tino iti kiato
● He tino kaha te whakaruru waiariki
● Te teitei o te pāmahana mahi i roto i nga hau whakapouri
Ko nga momo tukanga e rima e whakamahia ana ki te hanga silicon nitride—he rerekee nga rauemi mahi me nga tono.
SRBSN (hohenga-hononga silicon nitride)
GPSN (te pehanga hau i te nitride silicon nitride)
HPSN (nitride silicon nitride)
HIP-SN (nitride silicon te pehi wea)
RBSN (hohenga-hononga silicon nitride)
I roto i enei e rima, ko te GPSN te tikanga tino whakamahia mo te whakaputa.
Na te kaha o te pakaru o te pakaru me te pai o nga ahuatanga tribological, he pai rawa atu nga karamu nitride silicon mo te whakamahi hei poi me nga huānga hurihuri mo te maama, te tino tika o nga pikaunga, nga taputapu hanga uku, me nga waahanga miihini tino taumaha. I tua atu, ka whakamahia e nga tikanga whaowhao nga taonga o te kaha o te ru werawera me te aukati i te pāmahana teitei.
I tua atu, kua roa e whakamahia ana i roto i nga tono wera-teitei. Ko te meka koinei tetahi o nga mea iti noa o nga taonga uku monolithic ka taea te tu atu i te wiri wera nui me nga rōnaki pāmahana i hangaia e nga miihini toka hauwai/hauora.
I tenei wa, ka whakamahia te rauemi nitride silicon i roto i te umanga miihini i roto i nga tono mo nga waahanga miihini me nga waahanga whakauru miihini, penei i nga turbochargers mo te iti o te inertia me te whakaheke i te miihini me te tuku, nga rama rama mo te whakaoho tere, nga reera hau mo te tere tere, me nga papaa ringa toka mo nga miihini hau ki te whakaheke i nga kakahu.
Na ona ahuatanga hiko motuhake, i roto i nga tono microelectronics, ka kaha ake te whakamahi i te nitride silicon hei insulator me te arai matū i roto i te hanga iahiko whakauru mo te kapi haumaru o nga taputapu. Ka whakamahia te nitride silikono hei paparanga passivation me te arai whakamaarama nui ki nga katote konutai me te wai, e rua nga take matua o te waikura me te koretake o te miihiniiti. I roto i nga pūnga iahiko mo nga taputapu tairitenga, ka whakamahia ano te matū hei kaipara hiko i waenga i nga papa polysilicon.
Ko nga karamu nitride silicone he rauemi whaipainga. He āhuatanga ahurei kei ia momo o tenei uku e whai hua ai i roto i nga momo waahanga. Ma te mohio ki nga momo maha o te silicon nitride ceramics ka ngawari ki te whiriwhiri i te mea pai mo tetahi tono.