(99,8% aliuminio oksido vaflių krautuvo rankena, kurią pagaminoWintustek)
99,8%aliuminio oksido keramikos krautuvo rankena yra komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose. Aliuminio oksido keramika yra keraminės medžiagos rūšis, turinti puikią elektrinę izoliaciją ir dideles šilumos laidumo savybes, todėl ji tinka įvairioms puslaidininkių naudojimui.
Keraminė rankena dažniausiai naudojama puslaidininkių gamybos įrangoje, tokioje kaip vaflių tvarkymo robotai ir pasirinkimo ir vietos mašinos. Gamybos proceso metu jis laikosi ir manipuliuoja puslaidininkių plokštelėmis.
Puslaidininkių prietaisų esminiai procesai, taip pat dalys, kurios turi būti naudojamos vakuume, aukštoje temperatūroje ir korozinėje dujų aplinkoje, yra būtina aplinką be dulkių.
Vaflių krautuvai, pagaminti iš 99,8% aliuminio oksido, yra pritvirtinti prie „galinių efektorių“ arba vaflių, perduodančių robotus, ir yra naudojami silicio plokštelėms perkelti į proceso kameras ir kasetes. 95% iki 99,9% aliuminio oksido naudojamas kaip pirminė gamybos medžiaga, kuri taip pat vadinama puslaidininkine keramika. Vaflinių perdavimo metodas reikalauja naudoti didelio grynumo aliuminio oksido keraminių mechaninių ginklų, kuriems svarbiausia yra tikslus apdorojimo ir medžiagų reikalavimus.
CMP įrenginio vaflis kruopščiai dedamas ant platformos po poliravimo galvute po to, kai roboto siena buvo pašalinta iš vaflių dėžutės. Paprastai poliravimo galvutė tarnauja kaip vakuuminis adsorbcijos įtaisas. Vaflis tvirtai adsorbuojamas ant poliravimo galvos per vakuuminę adsorbciją, dėl kurios poliravimo galvutė slenka žemyn, kai vaflis dedamas po juo. Kai vaflis bus pritvirtintas, poliravimo galva atneša jį į poliravimo padėkliuką, kad būtų pradėtas poliravimo procesas.
Vaflių tvarkymas dažnai vyksta vakuume, kad būtų išvengta užteršimo, o valdymo ranka turi būti ypač kieta, atspari dėvėjimui ir atsparios temperatūrai. Fizinės aliuminio oksido keramikos savybės yra ta, kad ji yra stora, labai kieta ir labai atsparios dėvėjimui. Puiki puslaidininkių įrangos mechaninių ginklų medžiaga yra ta, kuri turi gerą atsparumą šilumai, puikų mechaninį stiprumą, stiprią izoliaciją, gerą atsparumą korozijai ir kitoms fizinėms savybėms net aukštos temperatūros aplinkoje.
Pagrindinės 99,8%aliuminio oksido rankos savybės
Aliuminis oksidas yra labai stiprus techninis keramika, pasižyminti išskirtiniu atsparumu nusidėvėjimui.
Nepriekaištingus ryšius lengva pasiekti naudojant aukštus tikslus matmenis ir sugriežtinant toleranciją.
Geba toleruoti net 1650 ° C temperatūrą, redukuojant ir oksiduojančią aplinką
Aliuminis oksidas yra labai stiprus techninis keramika, pasižyminti išskirtiniu atsparumu nusidėvėjimui.
Atsparumas cheminei korozijai aukštoje temperatūroje, cheminis inertiškumas, atsparumas daugumai stiprių rūgščių ir šarmų, o ne rūdis
Elektros izoliacija: izoliacijos skilimas yra bent 18 kV.
Norint atsikratyti teršalų ir priemaišų, naudojama aukšta vakuumas ar apsauginė aplinka, esant aukštai temperatūrai.
Palyginti su kitomis keramikomis, jos aukšto lygio programos yra mažos.
Pabaigoje puslaidininkių gamintojai gali sumažinti pažeidimo ar užteršimo riziką gamybos metu, naudodami aliuminio oksido keraminius ginklus, kad būtų užtikrintas tikslus ir patikimas trapių puslaidininkių vaflių tvarkymas.
