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열분해 질화붕소 VGF 도가니

VGF 도가니는 수직 구배 동결(VGF) 기술을 사용하여 GaAs, InP, CZGaP 및 Ge 결정과 같은 결정을 합성하기 위한 일종의 용기입니다.
  • 고순도 99.999%
  • 높은 결정화 속도
  • 긴 서비스 수명
  • 우수한 열 안정성
  • 제품 상세 정보

Pyrolytic Boron Nitride PBN Products

열분해 질화붕소 PBN 제품

제품개요

열분해 질화붕소(PBN)는 암모니아 가스(NH3)와 삼염화붕소(BCI3)와 같은 할로겐화붕소 기체가 고온의 CVD 로에서 반응하여 증착되는 잘 알려진 CVD(화학 기상 증착) 공정으로 제조됩니다. 열분해 흑연과 같은 적절한 기판 위의 PBN.

PBN은 고유의 순도와 우수한 기계적 특성으로 인해 게르마늄(Ge), 갈륨비소(GaAs), 인듐인산염(InP)과 같은 고온로 및 전기 부품, 반도체, 마이크로파 화합물 결정에 탁월한 선택으로 알려져 있습니다. 및 물리화학적 안정성. PBN은 진공 상태에서 1800°C, 질소 상태에서 2000°C를 견딜 수 있어 용광로 부품 및 용해 용기에 적합한 선택입니다.

 

VGF 도가니는 수직 구배 동결(VGF) 기술을 사용하여 GaAs, InP, CZGaP 및 Ge 결정과 같은 결정을 합성하기 위한 일종의 용기입니다.


대표적 특성

  • 육각형 결정 격자의 적층 구조

  • 결정의 기저면에 수직인 특수 특성

  • 우수한 구조적, 물리화학적 안정성

  • 이방성 구조

  • 높은 열 안정성

  • 비습윤

  • 무독성


일반적인 응용 분야

  • 반도체 결정 성장용 도가니

  • RF 및 마이크로파용 웨이브 튜브

  • 마이크로파 방사선을 받는 창문

  • 전기 절연체

 


PBN 제품군

독특한 특성과 높은 구조적, 물리화학적 안정성을 지닌 PBN은 다음과 같은 이유로 최선의 선택이 될 수 있습니다.


  • VGF(수직 경사 냉동) 공정용 PBN 도가니

  • LEC(액체 캡슐화 Czochralski) 공정용 PBN 도가니

  • MBE(분자선 에피택시) 공정용 PBN 용기

  • 화합물 반도체 및 합금 가공용 PBN 보트

  • PBN MOCVD(금속-유기 CVD) 절연 보드 및 MBE 절연 링

  • 고온 진공 장비용 PBN 전기 절연 부싱

  • 나선형 구조의 PBN 진행파관(TWT)

 

GDMS 분석

분석요소

결과(μg/g)

분석요소

결과(μg/g)

Li

<0.005

Si

1.7

F

<0.005

CI

<0.005

Na

<0.005

S

<0.005

 



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포장 및 배송

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