알루미늄 질화물, 공식 AlN은 기술 세라믹 제품군의 새로운 소재입니다. 100년 전에 발견되었지만 지난 20년 동안 제어되고 재현 가능한 특성을 가진 상업적으로 실행 가능한 제품으로 개발되었습니다.
질화알루미늄은 육방정계 결정구조를 가지며 공유결합 물질이다. 밀도가 높은 기술 등급 재료를 생산하려면 소결 보조제와 열간 압착을 사용해야 합니다. 이 물질은 불활성 분위기에서 매우 높은 온도에 안정적입니다. 공기 중에서 표면 산화는 700°C 이상에서 시작됩니다. 최대 1370°C까지 재료를 보호하는 산화알루미늄 층이 형성됩니다. 이 온도 이상에서 벌크 산화가 발생합니다. 질화알루미늄은 최대 980°C의 수소 및 이산화탄소 대기에서 안정합니다.
이 물질은 결정립계 공격을 통해 무기산에 천천히 용해되고 질화알루미늄 입자에 대한 공격을 통해 강알칼리에 용해됩니다. 물질은 물에서 천천히 가수분해됩니다. 현재 대부분의 애플리케이션은 열 제거가 중요한 전자 분야에 있습니다. 이 물질은 베릴리아의 무독성 대안으로 관심을 받고 있습니다. 금속화 방법을 사용하여 많은 전자 응용 분야에서 알루미나 및 BeO 대신 AlN을 사용할 수 있습니다.
✔ 우수한 유전 특성
✔ 높은 열전도율
✔ 실리콘에 가까운 낮은 열팽창 계수
✔ 일반 반도체 공정 화학물질 및 가스와 반응하지 않음
✔ 방열판 및 방열판
✔ 레이저용 전기 절연체
✔ 반도체 공정 장비용 척, 클램프 링
✔ 전기 절연체
✔ 실리콘 웨이퍼 취급 및 처리
✔ 마이크로 전자 장치 및 광전자 장치용 기판 및 절연체
✔ 전자 패키지용 기판
✔ 센서 및 감지기용 칩 캐리어
✔ 칩렛
✔ 콜릿
✔ 레이저 열 관리 구성 요소
✔ 용융 금속 고정물
✔ 전자레인지용 패키지
기계 | 측정 단위 | SI/미터법 | (장엄한) |
밀도 | 그램/cc(파운드/피트3) | 3.26 | -203.5 |
다공성 | %(%) | 0 | 0 |
색깔 | — | 회색 | — |
굴곡 강도 | MPa(파운드/인치2x103) | 320 | -46.4 |
탄성 계수 | GPa(파운드/인치2x106) | 330 | -47.8 |
전단 계수 | GPa(파운드/인치2x106) | — | — |
벌크 모듈러스 | GPa(파운드/인치2x106) | — | — |
포아송의 비율 | — | 0.24 | -0.24 |
압축 강도 | MPa(파운드/인치2x103) | 2100 | -304.5 |
경도 | kg/mm2 | 1100 | — |
파괴인성 KIC | MPa·m1/2 | 2.6 | — |
최대 사용 온도 | °C(°F) | — | — |
(무부하) | |||
열의 | |||
열 전도성 | W/m•°K(BTU•인치/피트2•시•°F) | 140–180 | (970–1250) |
열팽창 계수 | 10–6/°C(10–6/°F) | 4.5 | -2.5 |
비열 | J/Kg•°K(Btu/lb•°F) | 740 | -0.18 |
전기 같은 | |||
유전 강도 | ac-kv/mm(볼트/밀) | 17 | -425 |
유전 상수 | @ 1MHz | 9 | -9 |
손실 계수 | @ 1MHz | 0.0003 | -0.0003 |
손실 탄젠트 | @ 1MHz | — | — |
체적 저항 | 옴•cm | >1014 | — |
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