99.8% 알루미나 웨이퍼 로더 암은 무엇입니까?

2025-01-02

What is 99.8% Alumina Wafer Loader Arm?

(99.8% 알루미나 웨이퍼 로더 암Wintrustek)

99.8%알루미나 세라믹 로더 암은 반도체 제조 공정에 사용되는 구성 요소입니다. Alumina Ceramic은 우수한 전기 절연 및 높은 열전도율 특성을 가진 세라믹 재료의 한 유형으로 다양한 반도체 응용 분야에 적합합니다.

세라믹 암은 일반적으로 웨이퍼 핸들링 로봇 및 픽 앤 플레이스 머신과 같은 반도체 생산 장비에 사용됩니다. 생산 공정에서 반도체 웨이퍼를 보유하고 조작합니다.

반도체 장치의 중요한 프로세스와 진공, 고온 및 부식성 가스 환경에 사용해야하는 부품에는 깨끗하고 먼지가없는 환경이 필요합니다.

99.8%의 알루미나로 만든 웨이퍼 로더는 "엔드 이펙터"또는 웨이퍼 핸드 로봇에 장착되며 실리콘 웨이퍼를 프로세스 챔버와 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. 95% ~ 99.9% 산화 알루미늄은 반도체 세라믹이라고도하는 일차 생산 물질로 사용됩니다. 웨이퍼 전달 방법은 고순도 알루미나 세라믹 기계 암의 사용을 필요로하며, 이는 정확한 처리 및 재료 요구 사항이 가장 중요합니다.

CMP 장치의 웨이퍼는 로봇 벽에 의해 웨이퍼 박스에서 제거 된 후 연마 머리 아래 플랫폼에 조심스럽게 배치됩니다. 일반적으로 연마 헤드는 진공 흡착 장치 역할을합니다. 웨이퍼는 진공 흡착을 통해 연마 헤드에 단단히 흡착되어 웨이퍼 아래에 배치 될 때 연마 머리가 아래쪽으로 미끄러 져 들어갑니다. 웨이퍼가 고정되면 연마 헤드는 연마 패드로 가져와 연마 공정을 시작합니다.

웨이퍼 취급은 종종 진공 환경에서 오염을 방지하기 위해 발생하며, 취급 암은 매우 단단하고 내마모성 및 온도 저항력이 있어야합니다. 알루미나 세라믹의 물리적 특성은 두껍고 단단하며 마모가 매우 저항력이 있다는 것입니다. 반도체 장비 기계식 암의 우수한 재료는 고온 환경에서도 우수한 내열, 뛰어난 기계적 강도, 강한 단열재, 우수한 부식성 및 기타 물리적 특성을 갖는 재료입니다.

99.8%알루미나 암의 주요 특징