열분해 질화붕소란?

2023-06-13

Pyrolytic Boron Nitride Crucibles

열분해 질화붕소 도가니

소개

열분해 BN 또는 PBN은 열분해 질화붕소의 약자입니다. 화학기상증착법(CVD)으로 생성된 육방정계 질화붕소의 일종으로 기공이 거의 없는 99.99% 이상에 도달할 수 있는 매우 순수한 질화붕소입니다.

구조

위에서 설명한 대로 열분해 질화붕소(PBN)는 육방정계의 구성원입니다. 층내 원자 간격은 1.45이고 층간 원자 간격은 3.33으로 상당한 차이가 있습니다. PBN의 적층 메커니즘은 ababab이며 구조는 각각 층과 C축을 따라 번갈아 가며 B와 N 원자로 구성됩니다.

이점

PBN 재료는 열충격에 매우 강하고 비등방성(방향에 따라 다름) 열 전달이 높습니다. 또한 PBN은 우수한 전기 절연체를 만듭니다. 이 물질은 각각 최대 2800°C 및 850°C의 불활성, 환원 및 산화 분위기에서 안정적입니다.

제품 측면에서 PBN은 도가니, 보트, 플레이트, 웨이퍼, 튜브 및 병과 같은 2D 또는 3D 물체로 형성되거나 흑연에 코팅으로 적용될 수 있습니다. 대부분의 용융 금속(Al, Ag, Cu, Ga, Ge, Sn 등), 산 및 뜨거운 암모니아는 PBN이 최대 1700°C까지 흑연에 코팅될 때 탁월한 온도 안정성을 나타내고 열충격에 저항하며 가스 부식에 저항하는 상황에 속합니다.

제품

PBN 도가니: PBN 도가니는 화합물 반도체 단결정 형성에 가장 적합한 용기이며 교체할 수 없습니다.

MBE 공정에서는 원소 및 화합물 증발에 이상적인 용기입니다.

또한, 열분해 질화붕소 도가니는 OLED 생산 라인에서 증발 소자 용기로 활용된다.

PG/PBN 히터: PBN 히터는 MOCVD 가열, 금속 가열, 증발 가열, 초전도체 기판 가열, 샘플 분석 가열, 전자 현미경 샘플 가열, 반도체 기판 가열 등의 잠재적 응용 분야에 사용됩니다.
PBN 시트/링: PBN은 고순도 및 분해 없이 초고진공에서 2300°C까지 가열을 견딜 수 있는 능력과 같은 고온에서 뛰어난 특성을 가지고 있습니다. 게다가 가스 오염 물질을 방출하지 않습니다. 이러한 종류의 속성을 통해 PBN을 다양한 형상으로 처리할 수도 있습니다.
PBN 코팅 흑연: PBN은 흑연에 적용할 때 재료 간의 상호 작용을 중지할 수 있는 효과적인 불소염 습윤 재료가 될 가능성이 있습니다. 따라서 기계의 흑연 부품을 보호하는 데 자주 사용됩니다.