ដោយសារសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាបានក្លាយទៅជាឧស្សាហកម្មយុទ្ធសាស្ត្រជាតិ សម្ភារៈ semiconductor ជាច្រើនត្រូវបានស្រាវជ្រាវ និងបង្កើត ហើយអាលុយមីញ៉ូម Nitride គឺពិតជាមួយនៃសម្ភារៈ semiconductor ដ៏ជោគជ័យបំផុត។
លក្ខណៈនៃការអនុវត្តអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត
អាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត (AlN) មានលក្ខណៈនៃកម្លាំងខ្ពស់ ធន់ទ្រាំនឹងកម្រិតសំឡេងខ្ពស់ វ៉ុលអ៊ីសូឡង់ខ្ពស់ មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ ការផ្គូផ្គងដ៏ល្អជាមួយស៊ីលីកូន។ នៅក្នុងវិស័យនៃស្រទាប់ខាងក្រោមអេឡិចត្រូនិចសេរ៉ាមិច និងសម្ភារៈវេចខ្ចប់ ដែលកំពុងតែមានសន្ទុះខ្លាំងក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ ហើយដំណើរការរបស់វាលើសពីអាលុយមីញ៉ូម។ សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីតមានដំណើរការល្អឥតខ្ចោះ ស័ក្តិសមសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor និងសម្ភារៈវេចខ្ចប់រចនាសម្ព័ន្ធ និងមានសក្តានុពលកម្មវិធីសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។
ការប្រើប្រាស់អាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត
1. កម្មវិធីឧបករណ៍ Piezoelectric
អាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីតមានភាពធន់ទ្រាំខ្ពស់ ចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងមេគុណទាបនៃការពង្រីកស្រដៀងនឹងស៊ីលីកុន ដែលជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់។
2. សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមវេចខ្ចប់អេឡិចត្រូនិក
Beryllium Oxide, Alumina, Silicon Nitride និង Aluminum Nitride គឺជាវត្ថុធាតុសាមញ្ញបំផុតមួយចំនួនដែលប្រើសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមសេរ៉ាមិច។
ក្នុងចំណោមសមា្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានស្រាប់ដែលអាចប្រើជាសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម សេរ៉ាមិច Silicon Nitride មានកម្លាំងបត់បែនខ្ពស់បំផុត ធន់នឹងការពាក់ល្អ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិកដ៏ទូលំទូលាយល្អបំផុតនៃសម្ភារៈសេរ៉ាមិច ខណៈដែលមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅរបស់វាគឺតូចបំផុត។ សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូនីទ្រីតមានចរន្តកំដៅខ្ពស់ ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅល្អ ហើយនៅតែមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិកល្អនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ វាអាចនិយាយបានថាតាមទស្សនៈនៃការអនុវត្ត អាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត និងស៊ីលីកុននីទ្រីត បច្ចុប្បន្នគឺស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ជាសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមវេចខ្ចប់អេឡិចត្រូនិក ប៉ុន្តែពួកគេក៏មានបញ្ហាធម្មតាដែរ៖ តម្លៃរបស់ពួកគេខ្ពស់ណាស់។
3. ការអនុវត្តចំពោះវត្ថុធាតុដែលបញ្ចេញពន្លឺ
នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែង photoelectric អាលុយមីញ៉ូម nitride (AlN) មាន bandgap semiconductor band ផ្ទាល់ដែលមានទទឹងអតិបរមា 6.2 eV ដែលខ្ពស់ជាង semiconductor bandgap ដោយប្រយោល។ AlN ជាសម្ភារៈបញ្ចេញពន្លឺពណ៌ខៀវ និងអ៊ុលត្រាវីយូឡេដ៏សំខាន់មួយ ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឌីយ៉ូតបញ្ចេញពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេ និងជ្រៅ ឌីយ៉ូតឡាស៊ែរអ៊ុលត្រាវីយូឡេ ឧបករណ៍ចាប់កាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេ។ល។ AlN និង III-ក្រុម nitrides ដូចជា GaN និង InN ក៏អាចបង្កើតជាសារធាតុរឹងបន្តបន្ទាប់គ្នាផងដែរ។ ដំណោះស្រាយ ហើយគម្លាតក្រុមតន្រ្តីនៃយ៉ាន់ស្ព័រ ternary ឬ quaternary របស់វាអាចត្រូវបានកែតម្រូវជាបន្តបន្ទាប់ពីក្រុមតន្រ្តីដែលអាចមើលឃើញទៅក្រុមតន្រ្តីអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈបញ្ចេញពន្លឺដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
4. ការដាក់ពាក្យទៅសមា្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម
គ្រីស្តាល់ AlN គឺជាស្រទាប់ខាងក្រោមដ៏ល្អសម្រាប់សម្ភារៈ GaN, AlGaN និង AlN epitaxial ។ បើប្រៀបធៀបជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមត្បូងកណ្តៀង ឬ SiC AlN និង GaN មានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នារវាងកម្ដៅ និងគីមីប្រសើរជាង ហើយភាពតានតឹងរវាងស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ epitaxial គឺតូចជាង។ ដូច្នេះ គ្រីស្តាល់ AlN ជាស្រទាប់ខាងក្រោម GaN epitaxial អាចកាត់បន្ថយដង់ស៊ីតេពិការភាពនៅក្នុងឧបករណ៍ និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការរបស់វា ដែលមានការរំពឹងទុកដ៏ល្អនៃកម្មវិធីក្នុងការរៀបចំឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ និងថាមពលខ្ពស់។ លើសពីនេះទៀត ការប្រើប្រាស់គ្រីស្តាល់ AlN ជាស្រទាប់ខាងក្រោមសម្ភារៈ AlGaN epitaxial ជាមួយនឹងសមាសធាតុអាលុយមីញ៉ូមខ្ពស់ (Al) ក៏អាចកាត់បន្ថយដង់ស៊ីតេពិការភាពនៅក្នុងស្រទាប់ nitride epitaxial និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវដំណើរការ និងអាយុកាលនៃឧបករណ៍ nitride semiconductor ។ ដោយផ្អែកលើ AlGaN ឧបករណ៍ចាប់ពិការភ្នែកពេលថ្ងៃដែលមានគុណភាពខ្ពស់ត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យ។
5. ការដាក់ពាក្យទៅសេរ៉ាមិច និងសម្ភារៈ refractory
អាលុយមីញ៉ូនីទ្រីតអាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុង sintering សេរ៉ាមិចរចនាសម្ព័ន្ធ; សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូនីទ្រីតដែលបានរៀបចំមិនត្រឹមតែមានលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិក និងកម្លាំងបត់បែនបានល្អជាងសេរ៉ាមិច Al2O3 និង BeO ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងមានភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការច្រេះផងដែរ។ ដោយប្រើធន់នឹងកំដៅ និងសំណឹកនៃសេរ៉ាមិច AlN ពួកវាអាចប្រើដើម្បីធ្វើជាឈើឆ្កាង ចានរំហួត Al និង ផ្នែកធន់នឹងការ corrosion សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងទៀត។ លើសពីនេះទៀត សេរ៉ាមិច AlN សុទ្ធសម្រាប់គ្រីស្តាល់ថ្លាគ្មានពណ៌ ជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះ អាចត្រូវបានប្រើជាសេរ៉ាមិចថ្លាសម្រាប់ឧបករណ៍អុបទិកអេឡិចត្រូនិច និងឧបករណ៍សម្រាប់បង្អួចអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងថ្នាំកូតធន់នឹងកំដៅ rectifier ។