(99,8% Алюминий Вафли-вафли таспасы)Wintrustek)
99,8% алюминий керамикалық тиегіш қолы - жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде қолданылатын компонент. Алюминий керамика - бұл өте электр оқшаулағыштары бар керамикалық материалдың түрі, ол өте электр оқшаулағыштары бар және жоғары жылу өткізгіштік қасиеттері, оны әр түрлі жартылай өткізгіш қосымшаларға қолайлы етеді.
Керамикалық қару-жарақ көбінесе жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда жұмыс істейді, мысалы, вафлиді өңдеу роботтары мен пикниктермен жұмыс істейді. Өндіріс кезінде ол жартылай өткізгіш вафлиді басқарады және басқарады.
Жартылай өткізгіш құрылғылардың маңызды және шаңсыз ортасы, сонымен қатар вакуумда, жоғары температурада және коррозиялық газ ортасында жұмыс істеу керек бөліктер үшін қажет.
99,8% -дан жасалған вафли лотереялар 99,8% -дан жасалған глинозой немесе вафли роботтарға беріледі және вафлиге арналған вафли және кремнийді вафлиді технологиялық палаталар мен кассеталарға айналдыру үшін қолданылады. 95% -дан 99,9% -ға дейін алюминий оксиді жартылай өткізгіш керамика деп аталатын негізгі өндірістік материал ретінде қолданылады. Вафлиді беру әдісі жоғары сапалы алюминий керамикалық механикалық құштарын қолдануды қажет етеді, өйткені бұл нақты өңдеу және материалдық талаптардың мәні бар.
CMP құрылғысындағы вафли вафли қорапшасынан алынғаннан кейін, робот қабырғасынан шығарылғаннан кейін платформаға мұқият орналастырылған. Әдетте, жылтырату бастығы вакуумдық адсорбция құралы болып табылады. Вафли вакуумдық адсорбция арқылы жылтыратқышты мықтап безендірді, бұл жылтыратқыштың басын төмен сырғытып, оның астына түсіп кетеді. Вафли бекітілгеннен кейін жылтырату басы жылтырату процесін бастау үшін оны жылтыратқыш төсемге әкеледі.
Вафлиді пайдалану ластанудың алдын алу үшін вакуумдық ортада жиі жүреді, ал қолмен жұмыс өте қатты, тозуға төзімді және температураға төзімді болуы керек. Алюминий керамикасының физикалық қасиеттері - бұл қалың, өте қиын және киюге төзімді. Жартылай өткізгіш жабдықтары үшін механикалық қолдар үшін керемет материал - бұл жақсы ыстыққа төзімді, керемет механикалық беріктік, күшті оқшаулау, жақсы коррозияға төзімділік және жоғары температуралы ортада да басқа физикалық қасиеттер.
99,8% алюминий қаруының негізгі ерекшеліктері
Алюминий - бұл өте күшті техникалық керамика, ол ерекше тозуға төзімді.
Мінсіз сәйкес келетін қарым-қатынас - бұл жоғары дәлдіктермен және толеранттылықты қатайту оңай.
Температурадан 1650 ° C-тан жоғары температурада, тотығып, тотығады
Алюминий - бұл өте күшті техникалық керамика, ол ерекше тозуға төзімді.
Жоғары температурада, химиялық инерстермен, қатты қышқылдар мен сілтілердің көпшілігіне төзімділігі, және тот емес, химиялық коррозияға төзімділік
Электр оқшаулау: оқшаулаудың бұзылуы кемінде 18 кВ.
Жоғары температурада жоғары вакуумдар немесе қорғаныс ортасы ластаушы заттар мен қоспалардан арылу үшін қолданылады.
Басқа керамикамен салыстырғанда, ол жоғары деңгейлі қосымшалар үшін материалдық құны төмен.
Қорытындылай келе, жартылай өткізгіш өндірушілер алюминий керамикалық қаруын қолдану арқылы зақымдану қаупін немесе ластану қаупін азайтуға мүмкіндік береді, бұл алюминий керамикалық қаруын қолдану арқылы, нәзік жартылай өткізгіш вафлиттердің қолданылуын қамтамасыз етеді.
