(99.8% ალუმინის ვაფლის მტვირთავის მკლავი, რომელიც წარმოებულიაWintrustek)
99.8%ალუმინის კერამიკული მტვირთავის მკლავი არის კომპონენტი, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარული წარმოების პროცესებში. ალუმინის კერამიკა არის კერამიკული მასალის ტიპი, რომელსაც აქვს შესანიშნავი ელექტრული იზოლაცია და მაღალი თერმული კონდუქტომეტრული თვისებები, რაც მას შესაფერისია სხვადასხვა ნახევარგამტარული პროგრამებისთვის.
კერამიკული მკლავი ჩვეულებრივ დასაქმებულია ნახევარგამტარული წარმოების მოწყობილობებში, როგორიცაა ვაფლის მართვის რობოტები და პიკ-და ადგილის აპარატები. იგი ფლობს და მანიპულირებს ნახევარგამტარული ძაფები წარმოების პროცესში.
სუფთა და მტვრისგან თავისუფალი გარემო აუცილებელია ნახევარგამტარული მოწყობილობების გადამწყვეტი პროცესებისთვის, აგრეთვე ის ნაწილები, რომლებიც უნდა იყოს დასაქმებული ვაკუუმში, მაღალ ტემპერატურაზე და კოროზიული გაზის გარემოში.
99.8% ალუმინისგან დამზადებული ვაფლის დამტენი დამონტაჟებულია "ბოლო ეფექტების" ან ძაფის გადაცემის რობოტებზე და გამოიყენება სილიკონის ძაფების გადასატანად და პროცესის პალატებსა და კასეტებში. 95% to 99.9% ალუმინის ოქსიდი გამოიყენება, როგორც პირველადი წარმოების მასალა, რასაც ასევე მოიხსენიებენ, როგორც ნახევარგამტარული კერამიკა. ვაფლის გადაცემის მეთოდი მოითხოვს მაღალი სიწმინდის ალუმინის კერამიკული მექანიკური იარაღის გამოყენებას, რისთვისაც გადამამუშავებელი და მატერიალური მოთხოვნები უმთავრესია.
CMP მოწყობილობაში ვაფლი საგულდაგულოდ არის განთავსებული პლატფორმაზე გასაპრიალებელი ხელმძღვანელის ქვეშ, ძაფის ყუთიდან რობოტის კედლის მიერ ამოღების შემდეგ. ჩვეულებრივ, გასაპრიალებელი თავი ემსახურება როგორც ვაკუუმის ადსორბციის მოწყობილობას. ვაფლი მტკიცედ იწევს გაპრიალებულ თავზე ვაკუუმის ადსორბციის საშუალებით, რაც იწვევს გასაპრიალებელი თავით ქვევით, როდესაც ვაფლი მოთავსებულია მის ქვეშ. ვაფლის დამაგრების შემდეგ, გასაპრიალებელი თავი მას გაპრიალებულ ბალიშს მიაქვს, რომ დაიწყოს გასაპრიალებელი პროცესი.
ვაფლის გატარება ხშირად ხდება ვაკუუმურ გარემოში, დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად, ხოლო გატარების მკლავი უნდა იყოს ძალიან რთული, აცვიათ მდგრადი და ტემპერატურისადმი მდგრადი. ალუმინის კერამიკის ფიზიკური თვისებებია ის, რომ ის სქელი, უაღრესად მძიმე და ძალიან მდგრადია აცვიათ. ნახევარგამტარული აღჭურვილობის შესანიშნავი მასალა მექანიკური იარაღია, რომელსაც აქვს კარგი სითბოს წინააღმდეგობა, შესანიშნავი მექანიკური ძალა, ძლიერი იზოლაცია, კარგი კოროზიის წინააღმდეგობა და სხვა ფიზიკური თვისებებიც კი მაღალი ტემპერატურის გარემოში.
99.8%ალუმინის მკლავის ძირითადი მახასიათებლები
ალუმინა არის ძალიან ძლიერი ტექნიკური კერამიკული, რომელსაც აქვს განსაკუთრებული აცვიათ წინააღმდეგობა.
უზადო შესაფერისი ურთიერთობა მარტივია მაღალი სიზუსტის ზომებითა და ტოლერანტობის გამკაცრებით.
შეუძლია მოითმენს ტემპერატურას, როგორც 1650 ° C ტემპერატურა
ალუმინა არის ძალიან ძლიერი ტექნიკური კერამიკული, რომელსაც აქვს განსაკუთრებული აცვიათ წინააღმდეგობა.
ქიმიური კოროზიის წინააღმდეგობა მაღალ ტემპერატურაზე, ქიმიური ინერტულობის, ძლიერი მჟავებისა და ტუტეების უმრავლესობის წინააღმდეგობა და არა ჟანგი
ელექტრო იზოლაცია: საიზოლაციო ავარია მინიმუმ 18 კვ.
მაღალი ვაკუუმები ან დამცავი გარემო მაღალ ტემპერატურაზე გამოიყენება დამაბინძურებლებისა და მინარევების მოსაშორებლად.
სხვა კერამიკასთან შედარებით, მას აქვს დაბალი მატერიალური ღირებულება მაღალი დონის პროგრამებისთვის.
დასასრულს, ნახევარგამტარული მწარმოებლებს შეუძლიათ შეამცირონ წარმოების დროს დაზიანების ან დაბინძურების რისკი, ალუმინის კერამიკული იარაღის გამოყენებით, რათა უზრუნველყონ მყიფე ნახევარგამტარული ძაფების ზუსტი და საიმედო მართვა.
