(99,8% utovarivača od glucaWintrustek)
99,8%glinice keramički utovarivač je komponenta koja se koristi u procesima proizvodnje poluvodiča. Keramika glinice je vrsta keramičkog materijala s izvrsnom električnom izolacijom i svojstvima visokih toplinskih vodljivosti, što ga čini prikladnim za razne poluvodičke primjene.
Keramička ruka obično se koristi u opremi za proizvodnju poluvodiča, kao što su roboti za rukovanje vafelom i strojevi za odabir. Tijekom procesa proizvodnje drži i manipulira poluvodičkim vafrima.
Okruženje bez prašine potrebno je za ključne procese poluvodičkih uređaja kao i dijelove koji se moraju koristiti u vakuumu, visokim temperaturama i korozivnim plinskim okruženjima.
Utovarivači izrađenih od 99,8% glinice montirani su na "krajnji efektori" ili robote koji predaju vafle i koriste se za premještanje silikonskih vafera u komore i kasete iz procesa i izvan nje. 95% do 99,9% aluminij oksid koristi se kao primarni proizvodni materijal za ono što se također naziva i poluvodička keramika. Metoda prijenosa Wafera zahtijeva uporabu mehaničkih mehaničkih oružja s glinom visoke čistoće, za koje su precizna obrada i materijalni zahtjevi najvažniji.
Wafer u CMP uređaju pažljivo se postavlja na platformu ispod glave za poliranje nakon što ga je zid robota uklonio iz kutije za vafer. Obično glava za poliranje služi kao vakuumski adsorpcijski uređaj. Wafer se čvrsto adsorbira na glavi za poliranje kroz vakuum adsorpciju, što uzrokuje da glava poliranja klizi prema dolje kad se stavi ispod nje. Jednom kada se pričvršćivanje pričvršćivanja, glava za poliranje donosi ga na jastučić za poliranje kako bi započeo postupak poliranja.
Rukovanje vafelom često se odvija u vakuumskom okruženju kako bi se spriječilo onečišćenje, a ruka za rukovanje mora biti izuzetno tvrda, otporna na habanje i otporna na temperaturu. Fizičke kvalitete keramike glinice su u tome što je gusta, vrlo tvrda i vrlo otporna na nošenje. Izvrsni materijal za mehaničke oružje opreme za poluvodičke opreme je onaj koji ima dobru toplinsku otpornost, izvrsnu mehaničku čvrstoću, snažnu izolaciju, dobru otpornost na koroziju i druge fizičke kvalitete čak i u okruženjima s visokim temperaturama.
Glavne značajke ruke od 99,8%glinice
Alina je vrlo jaka tehnička keramika koja ima izuzetnu otpornost na habanje.
Besprijekoran odnos lako je postići s visokim preciznim dimenzijama i tolerancijom pooštravanja.
Sposoban tolerirati temperature čak 1650 ° C u smanjenju i oksidirajućim okruženjima
Alina je vrlo jaka tehnička keramika koja ima izuzetnu otpornost na habanje.
Otpornost na kemijsku koroziju pri visokim temperaturama, kemijskom inertnošću, otpornosti na većinu jakih kiselina i alkalija, a ne hrđe
Električna izolacija: raspad izolacije je najmanje 18 kV.
Visoki vakuumi ili zaštitno okruženje pri visokim temperaturama koriste se za uklanjanje onečišćenja i nečistoća.
U usporedbi s ostalom keramikom, ima nizak materijalni trošak za aplikacije na visokoj razini.
Zaključno, proizvođači poluvodiča mogu umanjiti rizik od oštećenja ili onečišćenja tijekom proizvodnje pomoću keramičkih oružja glinice kako bi se osiguralo precizno i pouzdano rukovanje krhkim poluvodičkim vafrima.
