(99.8% एल्यूमिना वेफर लोडर हाथ द्वारा उत्पादितविंट्रस्टेक)
99.8%एल्यूमिना सिरेमिक लोडर आर्म एक घटक है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में किया जाता है। एल्यूमिना सिरेमिक उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन और उच्च तापीय चालकता गुणों के साथ एक प्रकार की सिरेमिक सामग्री है, जो विभिन्न अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।
सिरेमिक आर्म आमतौर पर सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरण जैसे वेफर हैंडलिंग रोबोट और पिक-एंड-प्लेस मशीनों में नियोजित किया जाता है। यह उत्पादन प्रक्रिया के दौरान अर्धचालक वेफर्स को धारण और हेरफेर करता है।
अर्धचालक उपकरणों की महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं के साथ-साथ उन भागों के लिए एक स्वच्छ और धूल मुक्त वातावरण आवश्यक है जिन्हें वैक्यूम, उच्च तापमान और संक्षारक गैस वातावरण में नियोजित किया जाना चाहिए।
99.8% एल्यूमिना से बने वेफर लोडर "एंड इफेक्टर्स" या वेफर को सौंपने वाले रोबोट पर लगे होते हैं और इसका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स को प्रक्रिया कक्षों और कैसेट में ले जाने के लिए किया जाता है। 95% से 99.9% एल्यूमीनियम ऑक्साइड का उपयोग प्राथमिक उत्पादन सामग्री के रूप में किया जाता है, जिसे अर्धचालक सिरेमिक के रूप में भी संदर्भित किया जाता है। वेफर ट्रांसफर विधि उच्च-शुद्धता एल्यूमिना सिरेमिक यांत्रिक हथियारों के उपयोग की आवश्यकता होती है, जिसके लिए सटीक प्रसंस्करण और सामग्री की आवश्यकताएं सर्वोपरि हैं।
सीएमपी डिवाइस में वेफर को रोबोट की दीवार द्वारा वेफर बॉक्स से हटाए जाने के बाद पॉलिशिंग हेड के नीचे प्लेटफ़ॉर्म पर सावधानी से रखा गया है। आमतौर पर, पॉलिशिंग हेड एक वैक्यूम सोखना डिवाइस के रूप में कार्य करता है। वेफर को वैक्यूम सोखना के माध्यम से पॉलिशिंग सिर पर मजबूती से सोखना होता है, जिससे पॉलिशिंग सिर को नीचे की ओर स्लाइड करने का कारण बनता है जब वेफर को इसके नीचे रखा जाता है। एक बार जब वेफर को तेज कर दिया जाता है, तो पॉलिशिंग सिर को पॉलिशिंग प्रक्रिया शुरू करने के लिए पॉलिशिंग पैड पर लाता है।
वेफर हैंडलिंग अक्सर संदूषण को रोकने के लिए एक वैक्यूम वातावरण में होती है, और हैंडलिंग आर्म को बेहद कठिन, पहनने के लिए प्रतिरोधी और तापमान-प्रतिरोधी होना चाहिए। एल्यूमिना सिरेमिक के भौतिक गुण यह है कि यह मोटी, अत्यधिक कठोर और पहनने के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी है। अर्धचालक उपकरण मैकेनिकल आर्म्स के लिए एक उत्कृष्ट सामग्री वह है जिसमें अच्छी गर्मी प्रतिरोध, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, मजबूत इन्सुलेशन, अच्छा संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान वाले वातावरण में भी अन्य भौतिक गुण हैं।
99.8%एल्यूमिना आर्म की मुख्य विशेषताएं
एल्यूमिना एक बहुत मजबूत तकनीकी सिरेमिक है जिसमें असाधारण पहनने का प्रतिरोध होता है।
एक निर्दोष फिटिंग संबंध उच्च सटीक आयामों और कसने वाली सहिष्णुता के साथ प्राप्त करना आसान है।
वातावरण को कम करने और ऑक्सीकरण करने में 1650 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान को सहन करने में सक्षम
एल्यूमिना एक बहुत मजबूत तकनीकी सिरेमिक है जिसमें असाधारण पहनने का प्रतिरोध होता है।
उच्च तापमान पर रासायनिक संक्षारण का प्रतिरोध, रासायनिक जड़ता, मजबूत एसिड और क्षार के बहुमत के लिए प्रतिरोध, और जंग नहीं
विद्युत इन्सुलेशन: इन्सुलेशन ब्रेकडाउन कम से कम 18 केवी है।
उच्च तापमान पर उच्च वैक्यूम या सुरक्षात्मक वातावरण का उपयोग दूषित पदार्थों और अशुद्धियों से छुटकारा पाने के लिए किया जाता है।
अन्य सिरेमिक की तुलना में, उच्च-स्तरीय अनुप्रयोगों के लिए इसमें कम सामग्री लागत है।
निष्कर्ष निकालने के लिए, सेमीकंडक्टर उत्पादक नाजुक अर्धचालक वेफर्स के सटीक और भरोसेमंद हैंडलिंग प्रदान करने के लिए एल्यूमिना सिरेमिक हथियारों का उपयोग करके विनिर्माण के दौरान क्षति या संदूषण के जोखिम को कम कर सकते हैं।
