(B4C फाउज़िंग रिंग द्वारा निर्मितविंट्रस्टेक)

बोरन कार्बाइड (B₄C)इसकी विशेषताओं के कारण एक असाधारण और पहनने के लिए प्रतिरोधी तकनीकी सिरेमिक सामग्री के रूप में माना जाता है। इस वजह से, यह बहुत कठिन सामग्रियों को संभालने के लिए एकदम सही है, चाहे वे एक ब्लास्टिंग नोजल के रूप में कार्य करने के लिए पापी हों या पाउडर या पेस्ट रूप में हों और एक अपघर्षक या लैपिंग एजेंट के रूप में उपयोग किए जाते हैं। बोरॉन कार्बाइड से बने उत्पादों में बहुत लंबी सेवा जीवन, थोड़ा पहनने और सस्ती कीमतें हैं। इसके अतिरिक्त, नए सैन्य उपकरण बैलिस्टिक सुरक्षा के लिए बोरॉन कार्बाइड से बने हल्के समग्र निर्माणों का उपयोग करते हैं। इस बहुमुखी पदार्थ का उपयोग एक भराव के रूप में भी किया जाता है, उदाहरण के लिए, धातुओं या प्लास्टिक में पहनने के लिए एक सामग्री के प्रतिरोध को बढ़ावा देने के लिए, उच्च तापमान अर्धचालक के रूप में, या परमाणु रिएक्टरों में न्यूट्रॉन के अवशोषक के रूप में।

बोरॉन कार्बाइड सिरेमिकअर्धचालक क्षमताओं और मजबूत तापीय चालकता के साथ उच्च तापमान अर्धचालक घटकों के रूप में नियोजित किया जा सकता है, साथ ही साथ गैस वितरण डिस्क, ध्यान केंद्रित करना, रिंग, माइक्रोवेव या अवरक्त विंडो, और सेमीकंडक्टर क्षेत्र में डीसी प्लग। जब C के साथ जोड़ा जाता है, तो B4C को विकिरण-प्रतिरोधी थर्मोइलेक्ट्रिक तत्व के रूप में और 2300 ° C तक के सेवा तापमान के साथ एक उच्च तापमान थर्मोकपल तत्व के रूप में उपयोग किया जा सकता है।

B4C फोकसिंग रिंग

वेफर निर्माण के नक़्क़ाशी चरण में उपयोग की जाने वाली वस्तुएं फोकस रिंग हैं। यह वेफर को स्थिर रखता है ताकि प्लाज्मा घनत्व बनाए रखा जाए और वेफर के फुटपाथ को संदूषण से ढाल दिया जाए।

अतीत में, फोकस रिंग सिलिकॉन और क्वार्ट्ज से बने थे। हालांकि, की आवश्यकता हैसिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी)उन्नत वेफर फैब्रिकेशन के लिए गीले नक़्क़ाशी पर सूखी नक़्क़ाशी के उपयोग के साथ -साथ फोकस रिंग का विस्तार किया गया।

B4C प्लाज्मा और उच्च तापमान के लिए प्रतिरोधी है, जैसेसिक। क्योंकि B4C कठिन है, उनका उपयोग प्रति यूनिट लंबे समय तक किया जा सकता है।

मुख्य विशेषताएं (B4C फोकसिंग रिंग)

• अत्यधिक उच्च कठोरता

• बिजली का संवाहक

• प्लाज्मा में उत्कृष्ट पहनने का प्रतिरोध

• उच्च विशिष्ट कठोरता