(99.8 ٪ بازوی لودر آلومینا تولید شده توسطبانگوستک)
یک بازوی لودر سرامیکی آلومینا 99.8 ٪ مؤلفه ای است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. سرامیک آلومینا نوعی ماده سرامیکی با عایق الکتریکی عالی و خاصیت هدایت حرارتی بالا است و آن را برای کاربردهای مختلف نیمه هادی مناسب می کند.
بازوی سرامیکی معمولاً در تجهیزات تولید نیمه هادی مانند روبات های حمل ویفر و ماشین های انتخابی و مکان به کار می رود. ویفرهای نیمه هادی را در طی فرآیند تولید نگه می دارد و دستکاری می کند.
یک محیط تمیز و بدون گرد و غبار برای فرآیندهای مهم دستگاه های نیمه هادی و همچنین قطعاتی که باید در خلاء ، درجه حرارت بالا و محیط های گاز خورنده به کار گرفته شوند ، ضروری است.
لودرهای ویفر ساخته شده از آلومینا 99.8 ٪ بر روی "اثرات انتهایی" یا ربات های ویفر نصب شده اند و برای جابجایی ویفرهای سیلیکون به داخل و خارج از محفظه های فرآیند و کاست استفاده می شوند. اکسید آلومینیوم 95 ٪ تا 99.9 ٪ به عنوان ماده تولید اولیه برای آنچه به عنوان سرامیک نیمه هادی گفته می شود ، استفاده می شود. روش انتقال ویفر به استفاده از بازوهای مکانیکی سرامیکی آلومینای با خلوص بالا نیاز دارد ، که برای آنها پردازش دقیق و الزامات مواد مهم است.
ویفر در دستگاه CMP پس از برداشتن از جعبه ویفر توسط دیوار ربات ، با دقت روی سکو زیر سر صیقل قرار می گیرد. معمولاً سر صیقل به عنوان وسیله جذب خلاء عمل می کند. ویفر از طریق جذب خلاء به طور محکم روی سر پولیش جذب می شود ، که باعث می شود سر صیقل دهنده هنگام قرار دادن ویفر در زیر آن به سمت پایین بکشد. پس از چسباندن ویفر ، سر پولیش آن را به پد پولیش می رساند تا روند پولیش را آغاز کند.
دست زدن به ویفر اغلب برای جلوگیری از آلودگی در محیط خلاء صورت می گیرد و بازوی دست زدن باید بسیار سخت ، مقاوم در برابر سایش و مقاوم در برابر دما باشد. خصوصیات جسمی سرامیک آلومینا این است که ضخیم ، بسیار سخت و بسیار مقاوم در برابر سایش است. یک ماده عالی برای تجهیزات نیمه هادی بازوهای مکانیکی موردی است که از مقاومت در برابر حرارت خوب ، مقاومت مکانیکی عالی ، عایق قوی ، مقاومت در برابر خوردگی خوب و سایر خصوصیات فیزیکی حتی در محیط های درجه حرارت بالا برخوردار است.
ویژگی های اصلی بازوی آلومینا 99.8 ٪
آلومینا یک سرامیک فنی بسیار قوی است که از مقاومت در برابر سایش استثنایی برخوردار است.
یک رابطه مناسب و بی عیب و نقص با ابعاد با دقت بالا و تحمل محکم به آن آسان می شود.
قادر به تحمل درجه حرارت به اندازه 1650 درجه سانتیگراد در کاهش و اکسیداسیون محیط
آلومینا یک سرامیک فنی بسیار قوی است که از مقاومت در برابر سایش استثنایی برخوردار است.
مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی در دماهای بالا ، عدم تحرک شیمیایی ، مقاومت در برابر اکثر اسیدهای قوی و قلیایی ها ، و نه زنگ زدگی
عایق الکتریکی: تجزیه عایق حداقل 18 کیلو ولت است.
از خلاء های بالا یا محیط های محافظ در دماهای بالا برای خلاص شدن از شر آلاینده ها و ناخالصی ها استفاده می شود.
در مقایسه با سایر سرامیک ها ، هزینه مواد کم برای برنامه های سطح بالا دارد.
برای نتیجه گیری ، تولیدکنندگان نیمه هادی می توانند با استفاده از بازوهای سرامیکی آلومینا ، خطر آسیب یا آلودگی را در حین تولید به حداقل برسانند تا بتوانند از ویفرهای نیمه هادی شکننده استفاده کنند.
