(حلقه Fousing B4C تولید شده توسطبانگوستک)

کاربید بوران (B₄C)به دلیل ویژگی های آن به عنوان یک ماده سرامیکی فنی فوق العاده سخت و مقاوم در برابر سایش در نظر گرفته می شود. به همین دلیل ، برای استفاده از مواد بسیار سخت مناسب است ، خواه آنها را به عنوان یک نازل انفجاری عمل کنند یا به صورت پودر یا خمیر عمل کنند و به عنوان یک ماده ساینده یا لپه استفاده می شوند. محصولات ساخته شده از کاربید بور دارای عمر بسیار طولانی ، سایش کمی و قیمت های مقرون به صرفه هستند. علاوه بر این ، تجهیزات نظامی جدید از سازه های کامپوزیت سبک ساخته شده از کاربید بور برای محافظت از بالستیک استفاده می کند. این ماده همه کاره همچنین به عنوان پرکننده مورد استفاده قرار می گیرد ، به عنوان مثال ، برای تقویت مقاومت یک ماده در برابر سایش در فلزات یا پلاستیک ، به عنوان نیمه هادی های درجه حرارت بالا یا به عنوان جاذب نوترون در راکتورهای هسته ای.

سرامیک کاربید بوربا قابلیت های نیمه هادی و هدایت حرارتی قوی می تواند به عنوان اجزای نیمه هادی درجه حرارت بالا و همچنین دیسک های توزیع گاز ، تمرکز حلقه ها ، مایکروویو یا ویندوز مادون قرمز و شاخه های DC در بخش نیمه هادی استفاده شود. هنگامی که با C جفت می شود ، B4C می تواند به عنوان یک عنصر ترموالکتریک مقاوم در برابر تابش و به عنوان یک عنصر ترموکوپل درجه حرارت بالا با دمای سرویس تا 2300 درجه سانتیگراد استفاده شود.

حلقه تمرکز B4C

کالاهای مورد استفاده در مرحله اچینگ تولید ویفر حلقه های تمرکز هستند. ویفر را ثابت نگه می دارد به طوری که چگالی پلاسما حفظ شود و از پیاده روهای ویفر از آلودگی محافظت می کند.

در گذشته حلقه های تمرکز از سیلیکون و کوارتز ساخته شده بود. با این حال ، نیاز بهکاربید سیلیکون (SIC)حلقه های فوکوس همراه با استفاده از اچ کردن خشک بر روی اچ کردن مرطوب برای ساختهای پیشرفته ویفر گسترش یافته است.

B4C دقیقاً مانند پلاسما و درجه حرارت بالا مقاوم استباکرهبشر از آنجا که B4C سخت تر است ، می توان از آنها برای مدت زمان طولانی تر در هر واحد استفاده کرد.

ویژگی های اصلی (حلقه تمرکز B4C)

• سختی بسیار زیاد

• هادی برق

• مقاومت در برابر سایش عالی در پلاسما

• سفتی خاص بالا