(% 99,8 alumina wafer kargatzailea sortutako besoaWinTrustek)
% 99,8 alumina zeramikazko kargatzailearen besoa erdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabilitako osagaia da. Alumina zeramikoa zeramikazko material mota da isolamendu elektriko bikaina eta eroankortasun termiko handiko propietateak dituena, erdieroale aplikazioetarako egokiak bihurtuz.
Zeramikazko besoa normalean erdieroale ekoizpen ekipamenduetan erabiltzen da, hala nola robotak manipulatzeko eta jasotzeko makinak. Ekoizpen prozesuan erdieroaleen ogiak manipulatzen eta manipulatzen ditu.
Ingurune garbia eta hautsa beharrezkoa da gailu erdieroaleentzako "prozesu erabakigarriak eta hutsean, tenperatura altuak eta gasaren ingurune korrosiboak erabili behar dituzten zatiak.
Alumina% 99,8ko waiketako kargadunek "amaierako efektuak" edo wafer robotak botatzen dituzte eta silikonazko ogiak mugitzeko erabiltzen dira prozesuko ganberetan eta kasetetatik kanpo. % 95 eta 99,9 aluminiozko oxidoa, zeramika erdieroale gisa aipatzen den produkzio material gisa erabiltzen da. Wafer transferentziaren metodoak alumina zeramikazko armen mekaniko altuen erabilera behar du, eta horretarako prozesamendu eta materialen eskakizun zehatzak funtsezkoak dira.
CMP gailuko ogia arretaz kokatzen da plataforman leuntzeko buruaren azpian, robot hormatik kendu ondoren. Normalean, leuntzeko burua hutsean adsortzio gailu gisa balio du. Wafer irmoki adsortzen da leuntzeko buruan, hutsezko adsortzioaren bidez, leuntzeko burua beherantz irristatzea eragiten duena, xafla azpian jartzen denean. Ogia lotu ondoren, leuntzeko buruak leuntzeko pad-era eramaten du leuntzeko prozesua hasteko.
Wafer manipulazioa askotan hutsean gertatzen da kutsadura ekiditeko, eta manipulazio besoa oso gogorra, higadura erresistentea eta tenperatura erresistentea izan behar da. Alumina zeramikaren ezaugarri fisikoak lodia, oso gogorra eta oso erresistentea da. Ekipo erdieroaleen ekipamendu mekanikoetarako material bikaina da, bero erresistentzia ona duena, indar mekaniko bikaina, isolamendu sendoa, korrosioarekiko erresistentzia ona eta bestelako ezaugarri fisiko batzuk ere tenperatura handiko inguruneetan.
% 99,8 alumina besoaren ezaugarri nagusiak
Alumina oso zeramika tekniko sendoa da, aparteko higadura erresistentzia duena.
Egokitzako harremana erraza da zehaztasun handiko dimentsioekin eta estutzen tolerantziarekin lortzea.
Ingurune murriztuz eta oxidatzailean 1650 ºC-ko tenperaturak jasateko gai da
Alumina oso zeramika tekniko sendoa da, aparteko higadura erresistentzia duena.
Korrosio kimikoarekiko erresistentzia tenperatura altuetan, inertutasun kimikoan, azido sendo eta alkalien gehiengoarekiko erresistentzia eta ez herdoildua
Isolamendu elektrikoa: isolamendu matxura gutxienez 18 kv da.
Tenperatura altuak dituzten hutsuneak edo babes-inguruneak kutsatzaile eta ezpurutasunak kentzeko erabiltzen dira.
Beste zeramika batzuekin alderatuta, maila altuko aplikazioetarako kostu txikia du.
Amaitzeko, ekoizle erdieroaleek fabrikazioan kalteak edo kutsadura arriskua gutxitu dezakete fabrikazioan, alumina zeramikazko besoak erabiliz, semuko eroaleen adingabeak manipulatzeko modu zehatza eta fidagarria eskaintzeko.
