(99,8% alumiiniumoksiidi vahvlilaaduri käsiWintrustek)
99,8%alumiiniumoksiidi keraamilise laaduri käsi on komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides. Alumiiniumoksiidi keraamika on teatud tüüpi keraamiline materjal, millel on suurepärased elektrilised isolatsioonid ja kõrge soojusjuhtivusega omadused, muutes selle sobivaks erinevateks pooljuhtide rakendusteks.
Keraamilist kätt kasutatakse tavaliselt pooljuhtide tootmisseadmetes, näiteks vahvlite käitlemise robotid ja valimismasinad. See hoiab ja manipuleerib pooljuhtide vahvleid tootmisprotsessi ajal.
Pooljuhtide seadmete oluliste protsesside, aga ka osade jaoks, mida tuleb kasutada vaakumis, kõrgete temperatuuride ja söövitava gaasikeskkonna jaoks, on vajalik puhas ja tolmuvaba keskkond.
99,8% -lisest alumiiniumoksiidist valmistatud vahvlilaadurid on paigaldatud "lõpp -efektoritele" või vahvlile robotitele ning neid kasutatakse ränivahverite viimiseks protsessikambritesse ja kassettidesse. Esmane tootmismaterjalina kasutatakse 95–99,9% alumiiniumoksiidi, mida nimetatakse ka pooljuhtide keraamikaks. Vahvli ülekandemeetod nõuab kõrge puhtusega alumiiniumoksiidi keraamiliste mehaaniliste relvade kasutamist, mille täpsed töötlemis- ja materiaalnõuded on esmad.
CMP -seadme vahvel asetatakse hoolikalt platvormile poleerimispea all pärast seda, kui roboti sein on vahvli kastist eemaldatud. Tavaliselt toimib poleerimispea vaakum adsorptsiooniseadmena. Vahvli adsorbeerub poleerimispeale kindlalt vaakum adsorptsiooni kaudu, mis põhjustab poleerimispea libisemist allapoole, kui vahvel selle alla asetatakse. Kui vahvel on kinnitatud, viib poleerimispea poleerimisprotsessi alustamiseks poleerimispadja.
Vahvli käitlemine toimub saastumise vältimiseks sageli vaakumkeskkonnas ning käitlemisvars peab olema äärmiselt kõva, kulumiskindel ja temperatuurikindel. Alumiiniumoksiidi keraamika füüsilised omadused on see, et see on paks, väga kõva ja kulumiskindlus. Suurepärane materjal pooljuhtide seadmete jaoks on mehaanilised käed, millel on hea soojustakistus, suurepärane mehaaniline tugevus, tugev isolatsioon, hea korrosioonikindlus ja muud füüsilised omadused isegi kõrge temperatuuriga keskkonnas.
99,8%alumiiniumoksiidi peamised omadused
Alumiiniumoksiid on väga tugev tehniline keraamika, millel on erakordne kulumiskindlus.
Veatu sobivat suhet on lihtne saavutada ülitäpse mõõtme ja pingutava tolerantsi korral.
Võimeline taluma temperatuure koguni 1650 ° C vähendades ja oksüdeerivad keskkonnad
Alumiiniumoksiid on väga tugev tehniline keraamika, millel on erakordne kulumiskindlus.
Resistentsus keemilisele korrosioonile kõrgel temperatuuril, keemiline inerdus, resistentsus enamiku tugevate hapete ja leeliste suhtes, mitte rooste
Elektriline isolatsioon: isolatsiooni jaotus on vähemalt 18 kV.
Saasteainetest ja lisanditest vabanemiseks kasutatakse kõrgetel temperatuuridel kõrgeid vaakumeid või kaitsekeskkondi.
Võrreldes teiste keraamikaga on sellel kõrgetasemeliste rakenduste jaoks madala materjali maksumus.
Kokkuvõtteks võivad pooljuhtide tootjad vähendada tootmise ajal kahjustuste või saastumise riski, kasutades alumiiniumoksiidi keraamilisi käsi, et pakkuda habraste pooljuhtide vahvlite täpset ja usaldusväärset käitlemist.
