(99.8% Alumina Wafer -ŝarĝa brako produktita deWintrustek)
99.8%alumina ceramika ŝarĝa brako estas ero uzata en semikonduktaĵaj fabrikadaj procezoj. Alumina ceramiko estas speco de ceramika materialo kun bonega elektra izolado kaj altaj termikaj konduktaj proprietoj, igante ĝin taŭga por diversaj semikonduktaĵaj aplikoj.
La ceramika brako estas ofte uzata en semikonduktaĵaj produktadaj ekipaĵoj kiel Wafer-uzado de robotoj kaj elektaj kaj lokaj maŝinoj. Ĝi tenas kaj manipulas duonkonduktaĵojn dum la produktada procezo.
Pura kaj polva libera medio estas necesa por la kernaj procezoj de duonkonduktaĵoj same kiel por la partoj, kiuj devas esti uzataj en vakuo, altaj temperaturoj kaj korodaj gasaj medioj.
Wafer -ŝarĝiloj faritaj el 99.8% alumino estas muntitaj sur "finaj efikiloj" aŭ wafer transdonantaj robotojn kaj estas uzataj por movi silikajn vafojn en kaj el procezaj ĉambroj kaj kasedoj. 95% ĝis 99.9% aluminia rusto estas uzata kiel la primara produktada materialo por tio, kio ankaŭ estas nomata kiel duonkondukta ceramiko. La wafer-translokiga metodo bezonas la uzon de alt-purecaj alumina ceramikaj mekanikaj brakoj, por kiuj preciza prilaborado kaj materialaj postuloj estas plej gravaj.
La ondeto en la CMP -aparato estas zorge metita sur la platformon sub la poluranta kapo post esti forigita de la vaksa skatolo per la robota muro. Kutime, la polura kapo servas kiel vakua adsorbado. La vakso estas firme adsorbita sur la polura kapo tra vakua adsorbado, kio kaŭzas la poluran kapon gliti malsupren kiam la ondo estas metita sub ĝin. Post kiam la tranĉilo estas fermita, la polura kapo alportas ĝin al la polura kuseneto por komenci la poluran procezon.
Wafer-uzado ofte okazas en vakua medio por malebligi poluadon, kaj la manipulanta brako devas esti ekstreme malmola, eluzita kaj rezistema al temperaturo. La fizikaj kvalitoj de alumina ceramiko estas, ke ĝi estas dika, tre malmola kaj tre imuna al eluziĝo. Bonega materialo por semikonduktaĵaj ekipaĵoj mekanikaj brakoj estas unu, kiu havas bonan varmegan reziston, bonegan mekanikan forton, fortan izoladon, bonan korodan reziston kaj aliajn fizikajn kvalitojn eĉ en alt-temperaturaj medioj.
La ĉefaj ecoj de 99.8%alumina brako
Alumino estas tre forta teknika ceramiko, kiu havas esceptan eluzan reziston.
Senmova taŭga rilato estas facile atingebla kun altaj precizaj dimensioj kaj streĉa toleremo.
Kapabla toleri temperaturojn ĝis 1650 ° C en redukto kaj oksidigaj medioj
Alumino estas tre forta teknika ceramiko, kiu havas esceptan eluzan reziston.
Rezisto al kemia korodo ĉe altaj temperaturoj, kemia inerteco, rezisto al la plimulto de fortaj acidoj kaj alkaloj, kaj ne rusto
Elektra izolado: La izolada rompo estas almenaŭ 18 kV.
Altaj vakuoj aŭ protektaj medioj ĉe altaj temperaturoj estas uzataj por forigi poluantojn kaj malpuraĵojn.
Kompare kun aliaj ceramikoj, ĝi havas malaltan materialan koston por altnivelaj aplikoj.
Por fini, produktantoj de semikonduktaĵoj povas minimumigi la riskon de damaĝo aŭ poluado dum fabrikado per uzado de alumina ceramikaj brakoj por provizi precizan kaj fidindan uzadon de fragilaj duonkonduktaĵoj.
