(99,8% βραχίονα φορτωτή αλουμίνας που παράγεται απόWintrustek)
Ένας βραχίονας κεραμικού φορτωτή 99,8%αλουμίνας είναι ένα συστατικό που χρησιμοποιείται στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Το Ceramic Alumina είναι ένας τύπος κεραμικού υλικού με εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και ιδιότητες υψηλής θερμικής αγωγιμότητας, καθιστώντας την κατάλληλη για διάφορες εφαρμογές ημιαγωγών.
Ο κεραμικός βραχίονας χρησιμοποιείται συνήθως σε εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών, όπως ρομπότ χειρισμού πλακιδίων και μηχανήματα pick-and-place. Διατηρεί και χειρίζεται τα πλακίδια ημιαγωγών κατά τη διάρκεια της παραγωγικής διαδικασίας.
Ένα καθαρό περιβάλλον χωρίς σκόνη είναι απαραίτητο για τις κρίσιμες διαδικασίες των συσκευών ημιαγωγών, καθώς και για τα μέρη που πρέπει να χρησιμοποιούνται σε κενό, υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα αερίου.
Οι φορτωτές πλακιδίων από 99,8% αλουμίνα τοποθετούνται σε "τελικούς τελεστές" ή ρομπότ δίσκων και χρησιμοποιούνται για να μετακινήσουν πλακίδια πυριτίου μέσα και έξω από τους θαλάμους διεργασιών και τις κασέτες. 95% έως 99,9% οξείδιο του αργιλίου χρησιμοποιείται ως πρωτεύον υλικό παραγωγής για αυτό που αναφέρεται επίσης ως κεραμικά ημιαγωγών. Η μέθοδος μεταφοράς πλακιδίων απαιτεί τη χρήση κεραμικών μηχανικών βραχιόνων αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, για τους οποίους η ακριβής επεξεργασία και οι απαιτήσεις υλικού είναι υψίστης σημασίας.
Το δίσκο στη συσκευή CMP τοποθετείται προσεκτικά στην πλατφόρμα κάτω από την κεφαλή στίλβου μετά την απομάκρυνσή του από το κιβώτιο δίσκου από τον τοίχο ρομπότ. Συνήθως, η κεφαλή στίλβωσης χρησιμεύει ως συσκευή προσρόφησης κενού. Το δίσκο προσροφάται σταθερά στην κεφαλή στίλβου μέσω της προσρόφησης κενού, γεγονός που προκαλεί την ολίσθηση της κεφαλής στίλβου όταν τοποθετείται κάτω από αυτό. Μόλις στερεωθεί το δίσκο, η κεφαλή στίλβου το φέρνει στο μαξιλάρι γυάλινου για να ξεκινήσει τη διαδικασία στίλβας.
Ο χειρισμός των πλακιδίων λαμβάνει χώρα συχνά σε περιβάλλον κενού για να αποφευχθεί η μόλυνση και ο βραχίονας χειρισμού πρέπει να είναι εξαιρετικά σκληρός, ανθεκτικός στη φθορά και ανθεκτική στη θερμοκρασία. Οι φυσικές ιδιότητες του κεραμικού αλουμίνας είναι ότι είναι παχιά, πολύ σκληρά και εξαιρετικά ανθεκτικά στη φθορά. Ένα εξαιρετικό υλικό για εξοπλισμό ημιαγωγών μηχανικά όπλα είναι αυτό που έχει καλή αντοχή στη θερμότητα, εξαιρετική μηχανική αντοχή, ισχυρή μόνωση, καλή αντοχή στη διάβρωση και άλλες φυσικές ιδιότητες ακόμη και σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
Τα κύρια χαρακτηριστικά του βραχίονα αλουμίνας 99,8%
Το Alumina είναι ένα πολύ ισχυρό τεχνικό κεραμικό που έχει εξαιρετική αντίσταση φθοράς.
Μια άψογη σχέση προσαρμογής είναι εύκολο να επιτευχθεί με υψηλές διαστάσεις ακρίβειας και αυστηρότερη ανοχή.
Ικανός να ανεχτεί τις θερμοκρασίες έως και 1650 ° C σε μειωμένα και οξειδωτικά περιβάλλοντα
Το Alumina είναι ένα πολύ ισχυρό τεχνικό κεραμικό που έχει εξαιρετική αντίσταση φθοράς.
Αντίσταση στη χημική διάβρωση σε υψηλές θερμοκρασίες, χημική αδράνεια, αντίσταση στην πλειονότητα των ισχυρών οξέων και αλκάλων και όχι σκουριάς
Ηλεκτρική μόνωση: Η κατανομή της μόνωσης είναι τουλάχιστον 18 kV.
Τα υψηλά κενά ή τα προστατευτικά περιβάλλοντα σε υψηλές θερμοκρασίες χρησιμοποιούνται για να απαλλαγούν από μολυσματικές ουσίες και ακαθαρσίες.
Σε σύγκριση με άλλα κεραμικά, έχει χαμηλό κόστος υλικού για εφαρμογές υψηλού επιπέδου.
Συμπερασματικά, οι παραγωγοί ημιαγωγών μπορούν να ελαχιστοποιήσουν τον κίνδυνο βλάβης ή μόλυνσης κατά τη διάρκεια της κατασκευής χρησιμοποιώντας κεραμικά όπλα αλουμίνας για να παρέχουν ακριβή και αξιόπιστη χειρισμό εύθραυστων πλακιδίων ημιαγωγών.
