(99,8% aluminiumoxid wafer loader arm produceret afWintrustek)
En keramisk loader -arm på 99,8%aluminiumoxid er en komponent, der bruges i halvlederproduktionsprocesser. Aluminiumoxid -keramik er en type keramisk materiale med fremragende elektrisk isolering og høje termiske ledningsevne egenskaber, hvilket gør det velegnet til forskellige halvlederanvendelser.
Den keramiske arm er ofte anvendt i halvlederproduktionsudstyr såsom Wafer Handling Robots og Pick-and-Place-maskiner. Det holder og manipulerer halvlederskiver under produktionsprocessen.
Et rent og støvfrit miljø er nødvendigt for halvlederenhedernes afgørende processer såvel som de dele, der skal anvendes i vakuum, høje temperaturer og ætsende gasmiljøer.
Wafer -læssere lavet af 99,8% aluminiumoxid er monteret på "slutningseffektorer" eller wafer -aflevering af robotter og bruges til at flytte siliciumskiver ind og ud af proceskamre og kassetter. 95% til 99,9% aluminiumoxid bruges som det primære produktionsmateriale til det, der også kaldes halvlederkeramik. Wafer Transfer-metoden nødvendiggør brugen af aluminiumoxid-keramiske mekaniske arme med høj renhed, for hvilke præcise behandling og materialekrav er vigtigst.
Skiven i CMP -enheden er omhyggeligt placeret på platformen under poleringshovedet efter at have været fjernet fra wafer -boksen af robotvæggen. Normalt fungerer poleringshovedet som en vakuumadsorptionsindretning. Skiven adsorberes fast på poleringshovedet gennem vakuumadsorption, hvilket får poleringshovedet til at glide nedad, når skiven placeres under den. Når skiven er fastgjort, bringer poleringshovedet den til poleringspuden for at begynde poleringsprocessen.
Waferhåndtering finder ofte sted i et vakuummiljø for at forhindre forurening, og håndteringsarmen skal være ekstremt hård, slidbestandig og temperaturbestandig. De fysiske egenskaber ved aluminiumoxid -keramik er, at den er tyk, meget hård og meget modstandsdygtig over for slid. Et fremragende materiale til halvlederudstyr Mekaniske arme er et, der har god varmemodstand, fremragende mekanisk styrke, stærk isolering, god korrosionsmodstand og andre fysiske kvaliteter, selv i miljøer med høj temperatur.
Hovedfunktionerne på 99,8%aluminiumoxidarm
Aluminiumoxid er en meget stærk teknisk keramik, der har enestående slidstyrke.
Et fejlfrit passende forhold er let at opnå med høje præcisionsdimensioner og stramningstolerance.
I stand til at tolerere temperaturer så høje som 1650 ° C til reduktion og oxiderende miljøer
Aluminiumoxid er en meget stærk teknisk keramik, der har enestående slidstyrke.
Modstand mod kemisk korrosion ved høje temperaturer, kemisk inertitet, modstand mod størstedelen af stærke syrer og alkalier og ikke rust
Elektrisk isolering: Isoleringsfordelingen er mindst 18 kV.
Høje vakuum eller beskyttelsesmiljøer ved høje temperaturer bruges til at slippe af med forurenende stoffer og urenheder.
Sammenlignet med andre keramik har det en lav materialeomkostning til applikationer på højt niveau.
Afslutningsvis kan halvlederproducenter minimere risikoen for skader eller
