(99,8% rameno nakladače oxidu opláštěnostiWintrustek)
99,8%rameno nanesence oxidu hlinitého je součást používané v procesech výroby polovodičů. Alumina keramika je typ keramického materiálu s vynikající elektrickou izolací a vysokou vlastností tepelné vodivosti, díky čemuž je vhodný pro různé polovodičové aplikace.
Keramická rameno se běžně používá v polovodičových výrobních zařízeních, jako jsou roboty manipulace s oplatkou a stroje na místo. Během výrobního procesu drží a manipuluje s polovodičovými oplatky.
Pro klíčové procesy polovodičových zařízení, jakož i součásti, které musí být použity ve vakuu, vysokých teplotách a korozivním plynovém prostředí, je nezbytné čisté a prachové prostředí.
Nakladače oplatky vyrobené z 99,8% oxidu hlinité jsou namontovány na „koncových efektorech“ nebo robotech na podávání oplatky a používají se k přesunu křemíkových oplatků do a ven z procesů a kazet. Jako primární produkční materiál se používá 95% až 99,9% oxid hliníku pro to, co se také označuje jako polovodičová keramika. Metoda přenosu oplatky vyžaduje použití mechanických ramen s vysokou čistotou aluminou, pro které jsou prvořadé přesné zpracování a požadavky na materiál.
Voleť v zařízení CMP je pečlivě umístěna na plošinu pod leští hlavou poté, co byla odstraněna z destičky robotickou stěnou. Leští hlava obvykle slouží jako vakuové adsorpční zařízení. Oplatka je pevně adsorbována na lešticí hlavě vakuovou adsorpcí, což způsobuje, že leštěná hlava klesla dolů, když je pod ní umístěna oplatka. Jakmile je oplatka připevněna, leštící hlava ji přivede na leštící podložku, aby zahájila proces leštění.
Manipulace s oplatkou se často koná ve vakuovém prostředí, aby se zabránilo kontaminaci, a manipulační rameno musí být extrémně tvrdé, odolné proti opotřebení a odolné proti teplotě. Fyzikální vlastnosti keramiky aluminy jsou, že je silná, velmi tvrdá a vysoce odolná vůči opotřebení. Vynikající materiál pro polovodičové zařízení Mechanická ramena je ten, který má dobrou tepelnou odolnost, vynikající mechanickou sílu, silnou izolaci, dobrou odolnost proti korozi a další fyzikální vlastnosti i v prostředí s vysokou teplotou.
Hlavní rysy 99,8%Alumina ARM
Alumina je velmi silná technická keramika, která má výjimečný odolnost proti opotřebení.
Bezchybný montážní vztah je snadno dosažitelný s vysokými přesnými rozměry a zpřísněním tolerance.
Schopnost tolerovat teploty až 1650 ° C při snižování a oxidačních prostředích
Alumina je velmi silná technická keramika, která má výjimečný odolnost proti opotřebení.
Odolnost vůči chemické korozi při vysokých teplotách, chemické setrvačnosti, odolnost vůči většině silných kyselin a zásad a nikoli rez
Elektrická izolace: Rozpad izolace je nejméně 18 kV.
Vysoká vakua nebo ochranná prostředí při vysokých teplotách se používají k zbavení kontaminantů a nečistot.
Ve srovnání s jinou keramikou má nízké náklady na materiál pro aplikace na vysoké úrovni.
Na závěr, výrobci polovodičů mohou minimalizovat riziko poškození nebo kontaminace během výroby pomocí keramických ramen aluminy, aby poskytly přesné a spolehlivé zacházení s křehkými polovodičovými oplatky.
