(99,8% ручаніWintrustek)
99,8%глінянага керамічнага пагрузчыка - кампанент, які выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў. Кераміка гліназёму - гэта тып керамічнага матэрыялу з выдатнай электрычнай ізаляцыяй і высокімі ўласцівасцямі цеплаправоднасці, што робіць яго прыдатным для розных паўправадніковых прыкладанняў.
Керамічная рука звычайна выкарыстоўваецца ў вытворчым абсталяванні паўправаднікоў, такіх як робаты, якія апрацоўваюць пласціны і машыны для збору. Ён трымае і маніпулюе паўправадніковымі пласцінамі падчас вытворчага працэсу.
Чыстае і без пылу асяроддзя неабходна для важных працэсаў паўправаднікоў, а таксама дэталяў, якія павінны быць выкарыстаны ў вакууме, высокай тэмпературы і агрэсіўным газавым асяроддзі.
Пагрузчыкі пласціны, вырабленыя з 99,8% гліназёму, усталёўваюцца на "канчатковых эфектарах" або на руках пласціны, і выкарыстоўваюцца для перамяшчэння крэмнійных пласцін у камер і касеты. 95% да 99,9% аксіду алюмінія выкарыстоўваецца ў якасці асноўнага вытворчага матэрыялу для таго, што таксама называюць паўправадніковай керамікай. Спосаб перадачы пласцін патрабуе выкарыстання керамічнай механічнай зброі гліназёму высокай чысціні, для якіх дакладныя патрабаванні да апрацоўкі і матэрыялаў маюць першараднае значэнне.
Вафель у прыладзе CMP старанна размешчаны на платформе пад паліраванай галоўкай пасля выдалення з вафельнай скрынкі па сцяне робата. Звычайна шліфавальная галоўка служыць вакуумным адсорбцыяй. Вафель цвёрда адсарбуецца на паліроўцы праз адсорбцыю вакууму, што прыводзіць да паліроўкі, калі пад ім размяшчаецца вафель. Пасля таго, як пласціна зашпільваецца, паліроўка прыводзіць яе да паліроўкі, каб пачаць працэс паліроўкі.
Апрацоўка пласцін часта адбываецца ў вакуумнай абстаноўцы для прадухілення забруджвання, а рука руху павінна быць надзвычай цвёрдым, устойлівым да зносу і ўстойлівасці да тэмпературы. Фізічныя якасці керамікі гліназёму заключаюцца ў тым, што яна тоўстая, вельмі цвёрдая і вельмі ўстойлівая да зносу. Выдатны матэрыял для механічнай зброі паўправадніковага абсталявання-гэта добрая цеплавая ўстойлівасць, выдатная механічная трываласць, моцная ізаляцыя, добрая каразійная ўстойлівасць і іншыя фізічныя якасці нават у высокатэмпературных умовах.
Асноўныя рысы 99,8%гліназёму
Ануміна - вельмі моцная тэхнічная кераміка, якая мае выключную ўстойлівасць да зносу.
Бездакорныя адносіны лёгка дасягнуць з высокімі дакладчымі вымярэннямі і зацягваннем талерантнасці.
Здольны пераносіць тэмпературу да 1650 ° С пры зніжэнні і акісленні асяроддзя
Ануміна - вельмі моцная тэхнічная кераміка, якая мае выключную ўстойлівасць да зносу.
Устойлівасць да хімічнай карозіі пры высокіх тэмпературах, хімічная інертнасць, устойлівасць да большасці моцных кіслот і шчолачных, а не іржы
Электрычная ізаляцыя: разрыў ізаляцыі не менш за 18 кВ.
Для пазбаўлення ад забруджванняў і прымешак выкарыстоўваюцца высокія пыласосы або ахоўныя ўмовы пры высокіх тэмпературах.
У параўнанні з іншай керамікай, яна мае нізкі матэрыяльны кошт для прыкладанняў высокага ўзроўню.
У заключэнне вытворцы паўправаднікоў могуць звесці да мінімуму рызыку пашкоджання або забруджвання падчас вытворчасці, выкарыстоўваючы керамічную зброю гліназёму, каб забяспечыць дакладнае і надзейнае абыходжанне з кволымі паўправадніковымі пласцінкамі.
