(99.8% alumina vafli yükləyici qoluWintrustek)
Alüminion Keramika Yükləyicisi ARM 99,8% -i yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə olunan bir komponentdir. Alumina Ceramic, mükəmməl elektrik izolyasiya və yüksək istilik keçiricilik xüsusiyyətləri olan keramika materialının bir növü, onu müxtəlif yarımkeçirici tətbiqlər üçün uyğunlaşdırır.
Keramika qolu, vaffer robotlar və yer alan maşınlar kimi yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında ümumiyyətlə işləyir. İstehsal prosesi zamanı yarımkeçirici gofreti saxlayır və manipulyasiya edir.
Yarımkeçirici cihazların mühüm prosesləri, eləcə də vakuum, yüksək temperaturda və aşındırıcı qaz mühitində işləməli olan hissələr üçün təmiz və tozsuz bir mühit lazımdır.
99,8% -dən hazırlanmış vafli yükləyicilər "Son effektlər" və ya vaffer təhvil verən robotlar və ya silikon wafters və kasetləri həyata keçirmək üçün istifadə olunur. 95% -dən 99.9% -ə qədər alüminium oksidi, yarımkeçirici keramika kimi də göstərilənlər üçün ilkin istehsal materialı olaraq istifadə olunur. Dafar transfer metodu, yüksək emal və maddi tələblərin əsas tələbləri olduğu üçün yüksək saflıq alumina keramika mexaniki qollarının istifadəsini zəruri edir.
CMP cihazındakı gofret, robot divarından gofret qutusundan çıxarıldıqdan sonra cilalama başının altındakı platformaya diqqətlə yerləşdirilir. Adətən cilalama baş vakuum adsorbsiya cihazı kimi xidmət edir. Vafer, vakuum adsorbsiyasına görə cilalama başında möhkəm bir şəkildə adlandırılır, bu da cilalama başının altındakı boşluq altına qoyulduqda aşağı sürüşməsinə səbəb olur. Daferlər bərkidildikdən sonra cilalama başı cilalama prosesinə başlamaq üçün cilalama yastığına gətirir.
Volfiya rəftarı çirklənmənin qarşısını almaq üçün tez-tez vakuum mühitində tez-tez baş verir və idarəetmə qolu son dərəcə sərt, aşınmaya davamlı və temperatur davamlı olmalıdır. Alüminianın keramikasının fiziki keyfiyyətləri qalın, yüksək dərəcədə və aşınmaya davamlı olmasıdır. Yarımkeçirici avadanlıq üçün əla bir material mexaniki silahlar, yaxşı istilik müqaviməti, əla mexaniki güc, güclü izolyasiya, yaxşı korroziya müqaviməti və digər fiziki keyfiyyətlərə sahib olan digər fiziki keyfiyyətlərə malikdir.
99,8% alüminion qolunun əsas xüsusiyyətləri
Alumina, müstəsna aşınma müqaviməti olan çox güclü bir texniki keramikadir.
Qüsursuz uyğun bir əlaqəni yüksək dəqiqlik və tolerantlığı sıxmaqla əldə etmək asandır.
Temperaturu azaltmaq və oksidləşən mühitlərdə 1650 ° C qədər yüksəklərə dözə bilir
Alumina, müstəsna aşınma müqaviməti olan çox güclü bir texniki keramikadir.
Yüksək temperaturda kimyəvi korroziyaya müqavimət, kimyəvi inaktness, güclü turşuların və qələvilərin əksəriyyətinə qarşı müqavimət və paslanmır
Elektrik izolyasiyası: İzolyasiya pozulması ən azı 18 kV-dir.
Çirkləndiricilərdən və çirklərdən qurtulmaq üçün yüksək temperaturda yüksək vakuum və ya qoruyucu mühit istifadə olunur.
Digər keramika ilə müqayisədə, yüksək səviyyəli tətbiqlər üçün aşağı maddi dəyəri var.
Nəticədə, yarımkeçirici istehsalçılar, kövrək yarımkeçirici gofretsinin dəqiq və etibarlı işlənməsi ilə təmin etmək üçün alumina keramika qollarından istifadə etməklə istehsal zamanı zərər və ya çirklənmə riskini minimuma endirə bilərlər.
