(99.8 ٪ من ذراع اللودر الرقاقة ألومينا التي تنتجهاWinTrustek)
ذراع محمل خزفي من ألومينا 99.8 ٪ هو مكون يستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. Alumina Ceramic هو نوع من المواد السيرامية ذات العزل الكهربائي الممتاز وخصائص الموصلية الحرارية العالية ، مما يجعلها مناسبة لتطبيقات أشباه الموصلات المختلفة.
يتم استخدام ذراع السيراميك عادة في معدات إنتاج أشباه الموصلات مثل روبوتات معالجة الرقاقة وآلات الاختيار. إنه يحمل ويعالج رقائق أشباه الموصلات أثناء عملية الإنتاج.
تعد بيئة نظيفة وخالية من الغبار ضرورية للعمليات الحاسمة لأجهزة أشباه الموصلات وكذلك الأجزاء التي يجب استخدامها في الفراغ ودرجات الحرارة المرتفعة وبيئات الغاز المسببة للتآكل.
يتم تثبيت اللواح اللوحيات التي تم تصنيعها من 99.8 ٪ من الألومينا على "المستجيبات النهائية" أو رقاقة تسليم الروبوتات وتستخدم لتحريك رقائق السيليكون داخل وخارج غرف العمليات والكاسيت. يتم استخدام 95 ٪ إلى 99.9 ٪ أكسيد الألومنيوم كمواد الإنتاج الأولية لما يشار إليه أيضًا باسم السيراميك أشباه الموصلات. تستلزم طريقة نقل الرقاقة استخدام الأسلحة الميكانيكية السيراميكية عالية النقاء ، والتي تكون متطلبات المعالجة والمواد الدقيقة لها.
يتم وضع الرقاقة في جهاز CMP بعناية على المنصة أسفل رأس التلميع بعد إزالتها من صندوق الرقاقة بواسطة جدار الروبوت. عادةً ما يكون رأس التلميع بمثابة جهاز امتصاص فراغ. يتم امتصاص الويفر بحزم على رأس التلميع من خلال امتصاص الفراغ ، مما يؤدي إلى انزلاق رأس التلميع لأسفل عند وضع الرقاقة تحتها. بمجرد تثبيت الرقاقة ، يحضر رأس التلميع إلى لوحة التلميع لبدء عملية التلميع.
غالبًا ما يحدث معالجة الرقاقة في بيئة فراغ لمنع التلوث ، ويجب أن تكون ذراع المناولة قاسية للغاية ومقاومة للارتداء ومقاومة لدرجة الحرارة. الصفات المادية للألومينا الخزفية هي أنها سميكة وصعبة للغاية ومقاومة للغاية للارتداء. المواد الممتازة لأعطير أشباه الموصلات هي التي لديها مقاومة جيدة للحرارة ، وقوة ميكانيكية ممتازة ، وعزل قوي ، ومقاومة للتآكل الجيد ، وغيرها من الصفات المادية حتى في البيئات ذات درجة الحرارة العالية.
الميزات الرئيسية من ذراع الألومينا 99.8 ٪
ألومينا هي خزف تقني قوي للغاية وله مقاومة تآكل استثنائية.
من السهل تحقيق علاقة مناسبة لا تشوبها شائبة بأبعاد عالية الدقة وتشديد التسامح.
قادرة على تحمل درجات الحرارة تصل إلى 1650 درجة مئوية في بيئات تقليل وتأكسد
ألومينا هي خزف تقني قوي للغاية وله مقاومة تآكل استثنائية.
مقاومة للتآكل الكيميائي في درجات الحرارة العالية ، الارض الكيميائي ، مقاومة غالبية الأحماض القوية والقلويات ، وليس الصدأ
العزل الكهربائي: انهيار العزل لا يقل عن 18 كيلو فولت.
يتم استخدام الفراغات العالية أو البيئات الوقائية في درجات حرارة عالية للتخلص من الملوثات والشوائب.
بالمقارنة مع السيراميك الأخرى ، فإنه يحتوي على تكلفة مواد منخفضة للتطبيقات عالية المستوى.
في الختام ، يمكن أن يقلل منتجو أشباه الموصلات من خطر الضرر أو التلوث أثناء التصنيع باستخدام الأسلحة الخزفية للألومينا لتوفير معالجة دقيقة وموثوقة للرقصات شبه الموصلات الهشة.
