(99,8% alumina wafellaaierarm geproduseer deurWINTRUSTEK)
'N 99,8%aluminium -keramieklaaierarm is 'n komponent wat in halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word. Alumina -keramiek is 'n soort keramiekmateriaal met uitstekende elektriese isolasie en hoë termiese geleidings eienskappe, wat dit geskik maak vir verskillende halfgeleiertoepassings.
Die keramiekarm word gereeld gebruik in halfgeleierproduksietoerusting, soos die hantering van robotte vir wafel en pluk-en-plek-masjiene. Dit hou en manipuleer halfgeleierwafels tydens die produksieproses.
'N Skoon en stofvrye omgewing is nodig vir die belangrike prosesse van halfgeleiertoestelle, sowel as die onderdele wat in vakuum, hoë temperature en korrosiewe gasomgewings gebruik moet word.
Wafer -laders van 99,8% alumina is op "eindeffektore" of robotte wat oorhandig is, gemonteer en word gebruik om silikonwafels in en uit proseskamers en kassette te skuif. 95% tot 99,9% aluminiumoksied word gebruik as die primêre produksiemateriaal vir wat ook na verwys word as halfgeleierkeramiek. Die wafeloordragmetode noodsaak die gebruik van keramiekmeganiese arms met 'n hoë suiwerheid, waarvoor presiese verwerking en materiaalvereistes die belangrikste is.
Die wafel in die CMP -toestel word noukeurig op die platform onder die poleerkop geplaas nadat dit deur die robotmuur uit die wafelkas verwyder is. Gewoonlik dien die poleerkop as 'n vakuumadsorpsie -toestel. Die wafel word stewig geadsorbeer op die poleerkop deur vakuumadsorpsie, wat veroorsaak dat die poleerkop afwaarts gly as die wafel daaronder geplaas word. Sodra die wafel vasgemaak is, bring die poleerkop dit na die poleerkussing om die poleerproses te begin.
Waferhantering vind gereeld in 'n vakuumomgewing plaas om besoedeling te voorkom, en die hanteringsarm moet buitengewoon hard, slytasie en temperatuurbestand wees. Die fisiese eienskappe van keramiek van alumina is dat dit dik, baie hard en baie bestand is teen slytasie. 'N Uitstekende materiaal vir meganiese arms vir halfgeleiertoerusting is een wat goeie hitteweerstand, uitstekende meganiese sterkte, sterk isolasie, goeie korrosie-weerstand en ander fisiese eienskappe het, selfs in hoë temperatuuromgewings.
Die belangrikste kenmerke van 99,8%aluminiumêre arm
Alumina is 'n baie sterk tegniese keramiek wat buitengewone slytasie het.
'N Foutlose pasverhouding is maklik om te bereik met hoë presisie -dimensies en die verskerping van verdraagsaamheid.
In staat om temperature van so hoog as 1650 ° C te verdra in die vermindering en oksiderende omgewings
Alumina is 'n baie sterk tegniese keramiek wat buitengewone slytasie het.
Weerstand teen chemiese korrosie by hoë temperature, chemiese traagheid, weerstand teen die meerderheid sterk sure en alkalies, en nie roes nie
Elektriese isolasie: Die isolasie -afbreek is minstens 18 kV.
Hoë vakuums of beskermende omgewings by hoë temperature word gebruik om van kontaminante en onsuiwerhede ontslae te raak.
In vergelyking met ander keramiek, het dit 'n lae materiaalkoste vir hoëvlak-toepassings.
Ter afsluiting, halfgeleierprodusente kan die risiko van skade of besoedeling tydens vervaardiging tot die minimum beperk deur aluminium -keramiekarms te gebruik om presiese en betroubare hantering van broos halfgeleierwafels te bied.
